[發(fā)明專(zhuān)利]切削裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410346384.2
• 申請(qǐng)日: 2014-07-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104325402B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 脅田信彥
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類(lèi)號(hào): B24B45/00
• 分類(lèi)號(hào): B24B45/00;H01L21/301
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;金玲

本發(fā)明提供切削裝置，其具有：切削構(gòu)件，其具有切削刀；旋轉(zhuǎn)軸，其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支撐于主軸外殼；安裝器，其與旋轉(zhuǎn)軸的末端部嵌合地安裝，支撐切削刀；以及固定凸緣，其將在安裝器支撐的切削刀固定于該安裝器，安裝器具有：輪轂部，其嵌合有在固定凸緣的中央部形成的嵌合孔且以能夠在軸方向上滑動(dòng)的方式進(jìn)行支撐；凸邊部，其從輪轂部的外周向徑方向突出形成并在前表面具有支撐面；以及圓筒部，其在凸邊部的后方側(cè)設(shè)置，在凸邊部設(shè)有吸引孔，在圓筒部設(shè)有與吸引孔連通的連通路，在圓筒部設(shè)置的連通路經(jīng)由旋轉(zhuǎn)接頭與吸引構(gòu)件連通，使吸引構(gòu)件進(jìn)行工作而經(jīng)由旋轉(zhuǎn)接頭和連通路以及吸引孔使負(fù)壓作用于安裝器與固定凸緣之間，將該固定凸緣向安裝器側(cè)吸引。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具有對(duì)半導(dǎo)體晶片等的被加工物進(jìn)行切削的切削刀的切削裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件制造工藝中，在呈大致圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的表面通過(guò)形成為格子狀的被稱(chēng)之為切割道的分割預(yù)定線(xiàn)劃分為多個(gè)區(qū)域，在該劃分出的區(qū)域形成IC、LSI等的器件。如上將形成了多個(gè)器件的半導(dǎo)體晶片沿著切割道進(jìn)行切斷，從而對(duì)形成了器件的區(qū)域進(jìn)行分割，制造出一個(gè)個(gè)半導(dǎo)體器件。

將半導(dǎo)體晶片沿著切割道進(jìn)行切斷的切削裝置具有：被加工物保持構(gòu)件，其保持被加工物；切削構(gòu)件，其具有對(duì)保持在該被加工物保持構(gòu)件的被加工物進(jìn)行切削且以能夠旋轉(zhuǎn)的方式構(gòu)成的切削刀；以及加工進(jìn)給構(gòu)件，其使該被加工物保持構(gòu)件和該切削構(gòu)件在加工進(jìn)給方向上相對(duì)地進(jìn)行加工進(jìn)給。切削構(gòu)件被構(gòu)成為，包括：旋轉(zhuǎn)軸，其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支撐于主軸外殼；安裝器，其具有安裝于該旋轉(zhuǎn)軸的末端且插入到在切削刀的中央形成的開(kāi)口內(nèi)的輪轂部；以及固定凸緣，其具有與在該安裝器的輪轂部的端部形成的外螺紋螺合的內(nèi)螺紋，將在切削刀的中央形成的開(kāi)口嵌合插入到支撐凸緣的輪轂部之后，將固定凸緣的內(nèi)螺紋與在支撐凸緣的輪轂部的端部形成的外螺紋螺合，從而通過(guò)安裝器和固定凸緣夾持切削刀。(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)平11―33907號(hào)公報(bào)

然而，切削刀在發(fā)生磨損或缺損時(shí)需要與新的切削刀進(jìn)行更換，因而切削刀相對(duì)于安裝器的拆裝較為頻繁地進(jìn)行，而在上述以往的切削構(gòu)件中需要進(jìn)行每次都將固定凸緣螺合并緊固的作業(yè)和緩和固定凸緣的緊固的作業(yè)，因而存在生產(chǎn)效率降低的問(wèn)題。

此外，在上述以往的切削構(gòu)件中，為了防止切削作業(yè)時(shí)固定凸緣因旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生松弛，在固定凸緣和安裝器形成的螺紋通常相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)方向?yàn)榉绰菁y，因此通過(guò)切削裝置的工作使得固定凸緣的緊固力逐漸增大，因而在切削刀的更換時(shí)有時(shí)難以進(jìn)行緩和固定凸緣的緊固的作業(yè)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明就是鑒于上述情況而完成的，其主要的技術(shù)課題在于提供一種能夠易于進(jìn)行切削刀的拆裝的切削裝置。

為了解決上述主要技術(shù)課題，本發(fā)明提供一種切削裝置，其具有：被加工物保持構(gòu)件，其保持被加工物；切削構(gòu)件，其具有對(duì)保持在該被加工物保持構(gòu)件上的被加工物進(jìn)行切削且以能夠旋轉(zhuǎn)的方式構(gòu)成的切削刀；以及加工進(jìn)給構(gòu)件，其使該被加工物保持構(gòu)件和該切削構(gòu)件在加工進(jìn)給方向上相對(duì)地進(jìn)行加工進(jìn)給，該切削裝置的特征在于，該切削構(gòu)件具有：旋轉(zhuǎn)軸，其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式被支撐于主軸外殼；安裝器，其與該旋轉(zhuǎn)軸的末端部嵌合而被安裝，支撐切削刀；以及固定凸緣，其將被該安裝器支撐的切削刀固定于該安裝器，該安裝器具有：輪轂部，其嵌合有在該固定凸緣的中央部形成的嵌合孔且以能夠在軸方向上進(jìn)行滑動(dòng)的方式進(jìn)行支撐；凸邊部，其從該輪轂部的外周向徑方向突出形成且在前表面具有支撐面；以及圓筒部，其設(shè)置于該凸邊部的后方側(cè)，在該凸邊部設(shè)置有在該支撐面?zhèn)乳_(kāi)口的吸引孔，在該圓筒部設(shè)有與該吸引孔連通的連通路，在該圓筒部設(shè)置的該連通路經(jīng)由旋轉(zhuǎn)接頭與吸引構(gòu)件連通，使該吸引構(gòu)件進(jìn)行工作，經(jīng)由該旋轉(zhuǎn)接頭、該連通路以及該吸引孔，使負(fù)壓作用于該安裝器與該固定凸緣之間，將該固定凸緣向該安裝器側(cè)吸引，從而將切削刀固定于該安裝器與該固定凸緣之間。