[發(fā)明專利]一種柔性電容式加速度傳感器及其制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410345761.0 | 申請日： | 2014-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN104142409A | 公開（公告）日： | 2014-11-12 |
| 發(fā)明（設計）人： | 劉瑞;張珽;谷文;沈方平;丁海燕;祁明鋒 | 申請（專利權）人： | 蘇州能斯達電子科技有限公司 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝傳鑫 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 柔性 電容 加速度 傳感器 及其 制造 方法 | ||
1.一種柔性電容式加速度傳感器，其特征在于，包括：
柔性基板(1)；
上電極(3)，設于所述柔性基板(1)的上表面；
下電極(5)，設于所述柔性基板(1)的下表面；
連接層，其包括上連接層(2)和下連接層(4)，所述上連接層(2)設于所述柔性基板(1)和上電極(3)之間并連接所述柔性基板(1)和上電極(3)，所述下連接層(4)設于所述柔性基板(1)和下電極(5)之間并連接所述柔性基板(1)和下電極(5)。
2.如權利要求1所述的柔性電容式加速度傳感器，其特征在于，所述上電極(3)和下電極(5)均設置有引腳部分，所述引腳部分用于與外圍電路連接。
3.如權利要求2所述的柔性電容式加速度傳感器，其特征在于，所述連接層由有機物薄膜或金屬薄膜制成。
4.如權利要求3所述的柔性電容式加速度傳感器，其特征在于，所述連接層由與柔性基板(1)粘結性能優(yōu)的材料制成。
5.如權利要求4所述的柔性電容式加速度傳感器，其特征在于，所述上連接層(2)和下連接層(4)的厚度均為50-500nm。
6.如權利要求1-5任意一項所述的柔性電容式加速度傳感器，其特征在于，所述上電極(3)和下電極(5)均由厚度為100-2000nm的金屬薄膜組成。
7.一種制造上述柔性電容式加速度傳感器方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1、對柔性基板進行清洗和干燥；
S2、在所述柔性基板的上表面形成上連接膜層，并將所述上連接膜層制作成上連接層；
S3、在所述上連接層的上表面形成上電極膜層，并將所述上電極膜層制作成上電極；
S4、在所述柔性基板的下表面形成下連接膜層，并將所述下連接膜層制作成下連接層；
S5、在所述下連接層的下表面制備下電極膜層，并將所述下電極膜層制作成下電極。
8.如權利要求7所述的制造柔性電容式加速度傳感器的方法，其特征在于，所述上、下電極的引腳部分由對上、下電極分別進行金線綁定形成，將所述引腳部分與外圍電路進行連接，并封裝在電路板上。
9.如權利要求8所述的制造柔性電容式加速度傳感器的方法，其特征在于，所述步驟S2和S4中，分別在柔性基板的上表面和下表面采用物理沉積或旋涂的方式形成金屬薄膜或有機物薄膜，以形成所述上連接膜層和下連接膜層。
10.如權利要求9所述的制造柔性電容式加速度傳感器的方法，其特征在于，所述上、下電極和連接層是由上、下電極膜層和連接膜層通過MEMS圖形化工藝制備所得的。
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