[發明專利]液狀體的排出方法、濾色器以及有機EL裝置的制造方法

無效

• 申請號: 201410345605.4
• 申請日: 2009-10-14
• 公開（公告）號: CN104118211A
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 篠原亨
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B41J2/01
• 分類號: B41J2/01;G02B5/20;H01L51/56
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 劉瑞東;陳海紅

本申請是于2009年10月14日提交的申請號為200910204744.4、名稱為“液狀體的排出方法、濾色器以及有機EL裝置的制造方法”的專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及從噴嘴排出液狀體的液狀體的排出方法、濾色器的制造方法以及有機EL裝置的制造方法。

背景技術

例如，在液晶顯示裝置等的濾色器、有機EL裝置的成膜等領域，將包含功能性材料的液狀體排出的液狀體的排出方法被應用。在該液狀體的排出方法中，應用了液滴排出裝置。液滴排出裝置，具有稱為液滴排出頭的液滴排出機構。在該液滴排出頭中，規則性地形成有多個噴嘴。在濾色器、有機EL裝置等的制造中，從這些噴嘴，將包含功能性材料的液狀體在基板等上排出為液滴，從而形成包含功能性材料的薄膜。

近年來，顯示裝置所應用到的領域在擴大，從而各種尺寸的面板被提供出來。此外，也存在顯示裝置的高畫質化的要求，為了響應之，必須實現高精細、高密度的濾色器、有機EL裝置的成膜。因此，對于各種尺寸的基板，高精細、高密度地排出液狀體變得重要。此外，顯示裝置的面板的需要在增加，為了使面板的生產率提高，還存在希望從一塊大型基板制造出多塊面板的要求。在此情況下，為了追求獲取數的效率，或者，為了從一塊基板生產出不同尺寸的面板，各種布局被研究出來。根據布局，像素區域的配置，有時會90度不同，其中像素區域是被排出液狀體的最小單位的區域。

作為在工作件(基板)上從液滴排出頭將液狀體排出為液滴從而進行圖案的描繪的液滴排出裝置以及液滴排出方法，已知有這樣的液滴排出裝置以及液滴排出方法：使工作件在第1方向以及與第1方向大致正交的第2方向上移動，從在多個托架上配設的液滴排出頭的噴嘴，排出液狀體，從而進行圖案的描繪，其中多個托架沿著第2方向被預先確定了位置(例如，參照專利文獻1)。

[專利文獻1]特開2006-187758號公報

前述的液滴排出裝置，從被預先確定了位置的噴嘴將液狀體排出在基板的預定的區域。而且，噴嘴以固定的間距構成為列狀，像素區域形成為大致矩形形狀，像素區域是被排出液狀體的最小單位的區域。因此，還為了使噴嘴的排出偏差分散，優選地，使像素區域的長邊與噴嘴列平行地配置，以便使盡可能多的噴嘴與像素區域相對。但是，若在基板上配置方向不同的像素區域混合存在地構成，則會存在相對于噴嘴列，短邊平行地配置的像素區域。在此情況下，能夠在區域內排出液狀體的噴嘴受到限制，從而有可能使液狀體被排出在區域內的偏倚的位置，在區域內發生液狀體的排出量的偏倚。若發生液狀體的排出量的偏倚，則有可能會發生在區域內形成的薄膜的厚度的不均勻。在液晶顯示裝置等的濾色器、有機EL裝置的功能膜等薄膜中，若發生膜厚度的不均勻，則會存在所制造的顯示裝置的圖像品質將會下降的問題。

發明內容

本發明是為了解決上述問題的至少一部分而提出的，其可以實現為以下的方式或者應用例。

(應用例1)一種液狀體的排出方法，其特征在于，向在第1面板排列的大致矩形形狀的第1被排出區域和在第2面板排列的面積比前述第1被排出區域小的大致矩形形狀的第2被排出區域排出液狀體，包括：以使前述第1被排出區域的長邊方向和前述第2被排出區域的長邊方向大致正交的方式，并且，以前述第1面板和前述第2面板不在前述第2被排出區域的長邊方向并列的方式，配設前述第1面板和前述第2面板；排出工序，其邊使排出前述液狀體的多個噴嘴在前述第2被排出區域的長邊方向配設為列狀而成的噴嘴列以及前述第1面板和前述第2面板在前述第1被排出區域的長邊方向上相對移動，邊從前述噴嘴排出前述液狀體；從前述噴嘴排出且配置在前述第1被排出區域中的前述液狀體的、前述第1被排出區域的短邊方向的配置間隔，以前述噴嘴列相對于前述短邊方向具有角度的方式配置。

如果采用該方法，則能夠將具有噴嘴列的液滴排出頭的配置方向，設定為與面積大的第1被排出區域的大致矩形形狀的短邊方向以及面積小的第2被排出區域的大致矩形形狀的長邊方向相同的方向。也就是說，能夠在面積大的第1被排出區域其大致矩形形狀的短邊方向上，在面積小的第2被排出區域其大致矩形形狀的長邊方向上，配置噴嘴。因此，即使面積不同的第1被排出區域以及第2被排出區域混合存在于同一基板內，也能夠增多能夠在各個被排出區域內排出液狀體的噴嘴的數量。因而，能夠減少使液狀體被排出在被排出區域內的偏倚的位置、發生液狀體的排出量的偏倚的情況。其結果，能夠使在各個被排出區域內形成的薄膜的厚度的不均勻減輕。因而，能夠制造品質穩定的至少2種薄膜，能夠有助于生產率的提高。