[發明專利]濺射裝置和帶薄膜的長條膜的制造方法

有效

• 申請號: 201410342230.6
• 申請日: 2014-07-17
• 公開（公告）號: CN104294224B
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發明（設計）人: 梨木智剛;濱田明
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/56
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種帶薄膜的絕緣性的長條膜的制造方法，該帶薄膜的長條膜是利用濺射裝置在絕緣性的長條膜上形成薄膜而成的，其中，

該濺射裝置具備：

真空室；

真空泵，其用于對上述真空室進行排氣；

供給輥，其用于供給上述長條膜；

收納輥，其用于收納上述長條膜；

成膜輥，其設于上述真空室內，用于沿著該成膜輥的表面輸送上述長條膜；

靶材，其與上述成膜輥相對；

氣體配管，其用于向上述真空室內供給氣體；

放出側的導輥，其位于上述成膜輥的上游側，用于引導上述長條膜；

上述導輥的與上述長條膜接觸的接觸面是浮動電位；

該制造方法的特征在于，

該制造方法包括：在成膜之前，在真空室內利用上述導輥來輸送上述長條膜的工序。

2.根據權利要求1所述的帶薄膜的絕緣性的長條膜的制造方法，其中，

上述導輥包括：

導輥軸，其設于上述導輥的兩端；

軸承，其用于支承上述導輥軸；以及

絕緣體，其用于將上述導輥軸與上述軸承之間絕緣。

3.根據權利要求1所述的帶薄膜的絕緣性的長條膜的制造方法，其中，

上述導輥包括絕緣體，該絕緣體用于將上述導輥的與上述長條膜接觸的接觸面覆蓋而使上述導輥與上述長條膜之間絕緣。