[發(fā)明專利]雙敏感源聲表面波傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410339943.7 | 申請日： | 2014-07-17 |
| 公開（公告）號： | CN104101451A | 公開（公告）日： | 2014-10-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉興釗;舒琳;彭斌;張萬里;王瑜;李川 | 申請（專利權(quán)）人： | 電子科技大學(xué) |
| 主分類號： | G01L1/25 | 分類號： | G01L1/25;G01K11/26 |
| 代理公司： | 成都宏順專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 李玉興 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 敏感 表面波 傳感器 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.雙敏感源的聲表面波傳感器，包括襯底基片，其特征在于，所述襯底基片為LGS襯底基片，襯底基片上設(shè)置有界面諧振器及AlN薄膜層，AlN薄膜層完全覆蓋界面諧振器，AlN薄膜層上設(shè)置有表面諧振器，且表面諧振器在豎直方向的投影與界面諧振器的豎直投影重合，所述界面諧振器與表面諧振器皆為聲表面波諧振器，聲表面波諧振器中的金屬薄膜電極的材質(zhì)為耐高溫金屬。
2.如權(quán)利要求1所述的雙敏感源的聲表面波傳感器，其特征在于，所述界面諧振器與表面諧振器相同。
3.如權(quán)利要求1所述的雙敏感源的聲表面波傳感器，其特征在于，耐高溫金屬為金或鉑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的雙敏感源的聲表面波傳感器，其特征在于，所述AlN薄膜層的厚度大于1個SAW波長。
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