[發明專利]感應耦合等離子體處理裝置

有效

• 申請號: 201410337843.0
• 申請日: 2014-07-16
• 公開（公告）號: CN104299879B
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 笠原稔大;山田洋平;佐佐木和男
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及感應耦合等離子體處理裝置。

背景技術

在液晶顯示裝置(LCD)等平板顯示器(FPD：Flat Panel Display)制造工序中，存在對玻璃基板進行等離子體蝕刻、成膜處理等的等離子體處理的工序，為了進行這樣的等離子體處理，使用等離子體蝕刻裝置、等離子體CVD裝置等各種等離子體處理裝置。作為等離子體處理裝置，在現有技術中多使用電容耦合等離子體處理裝置，但近來，具有能夠得到高真空度且高密度的等離子體的較大優點的感應耦合等離子體(Inductively Coupled Plasma：ICP)處理裝置受到關注。

近來，被處理基板的尺寸正在大型化，例如在LCD用的矩形形狀玻璃基板中，短邊×長邊的長度從約1500mm×約1800mm的尺寸增大到約2200mm×約2400mm的尺寸，進而增大到約2800mm×約3000mm的尺寸，大型化顯著。

伴隨著這種被處理基板的大型化，構成感應耦合等離子體處理裝置的頂壁的矩形形狀的電介質窗也大型化。然而，構成電介質窗的石英等的電介質材料較脆，因此不利于大型化。因此，在專利文獻1中記載了這樣一種感應耦合等離子體處理裝置，矩形形狀的電解質窗采用剛性比石英高的金屬窗，并將該矩形形狀的金屬窗分割，使分割后的金屬窗彼此絕緣，由此構成處理室的頂壁。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2012-227427號公報

發明內容

發明想要解決的技術問題

專利文獻1所記載的感應耦合等離子體處理裝置包括：設置于矩形形狀的金屬窗的周圍的金屬支承架；和設置于金屬支承架間的多個金屬支承梁。專利文獻1的結構為：在金屬支承架與金屬支承梁之間以及金屬支承梁與金屬支承梁之間被劃分的區域，分別懸置有將矩形形狀的金屬窗分割而形成的多個分割片。即，在專利文獻1中，金屬支承架和金屬支承梁用作載置分割片的載置部，并且多個分割片架設成跨過處理室之上。

然而，專利文獻1將金屬支承架和金屬支承梁用作載置多個分割片的載置部，因此特別是金屬支承梁需要用于載置分割片的寬度。

另外，金屬支承梁插設于在處理期間處于減壓下的處理室與處于大氣壓下的天線室之間。因此，金屬支承梁要求用于支承大氣壓的較高的強度。從強度的觀點出發，專利文獻1中的金屬支承梁需要將其寬度設定得較寬。

在寬度較寬的金屬支承梁之下，難以形成感應電場。特別是將矩形形狀的金屬窗沿周向分割的金屬支承梁與配置在天線室的高頻天線平行。因此，流過與流過高頻天線的電流相反方向的電流。即反向電動勢。基于反向電動勢產生的電流隨著金屬支承梁的寬度變寬而越發顯著。當這樣的電流變顯著時，不僅減弱金屬支承梁正下方的感應電場，也減弱金屬支承梁周圍的感應電場，其結果是，有可能降低在處理室內產生的感應電場的均勻性。當感應電場的均勻性降低時，也對在處理室的內部生產的等離子體的均勻性產生影響。

另外，金屬窗的面積根據被處理體的大小而設定。但是，當金屬支承梁的寬度變寬時，分割片的總面積占金屬窗的總面積的比例下降。如果該比例下降，則在處理室的內部有效地生成感應電場也會變困難。

而且，當分割片兼作向處理室供給處理氣體的噴淋頭時，隨著上述比例變小，噴淋頭部的總面積占金屬窗的總面積的比例也減小。因此，處理氣體的有效供給和均勻性優良的處理氣體的供給也變得困難。

本發明是鑒于上述情況而完成的，其技術問題在于提供一種即使具有分割型的金屬窗也能夠在處理室的內部生成均勻的等離子體的感應耦合等離子體處理裝置。

另外，技術問題還在于，提供一種即使具有分割型的金屬窗也能夠在處理室的內部生成均勻的等離子體，并且能夠有效地進行處理氣體的供給以及均勻性良好的處理氣體的供給的感應耦合等離子體處理裝置。

用于解決技術問題的技術方案

為了解決上述問題，在本發明的一個方面中，提供一種感應耦合等離子體處理裝置，其對矩形形狀的被處理體實施感應耦合等離子體處理，上述感應耦合等離子體處理裝置的特征在于，包括：主體容器；和具有導電性的矩形形狀的金屬窗，其將上述主體容器劃分為：收納上述被處理體并對所收納的上述被處理體實施感應耦合等離子體處理的處理室；和收納用于在上述處理室內生成感應耦合等離子體的高頻天線的天線室，上述高頻天線設置成在上述天線室的內部在與上述矩形形狀的金屬窗對應的面內回轉走線，上述矩形形狀的金屬窗被分割為相互電絕緣的多個分割片，上述分割片各自由懸掛部件從上述天線室的頂板部吊下，而不架設在其它部件上。