[發明專利]雙光束延遲激光損傷測試系統

有效

• 申請號: 201410336518.2
• 申請日: 2014-07-16
• 公開（公告）號: CN104101486A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 趙元安;李澤漢;李大偉
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種雙光束延遲激光損傷測試系統，特征在于其構成包括：由脈沖激光器(1)和激光器控制器(2)組成激光輻照控制單元并產生脈沖激光，沿該脈沖激光方向依次經第一反射鏡(4)和第二反射鏡(5)到第一分光鏡(6)；第一分光鏡(6)將脈沖光束分為反射光束和透射光束，所述的反射光束經第三反射鏡(7)和第四反射鏡(8)到第二分光鏡(13)組成標準光路，所述的透射光束經第五反射鏡(9)、第六反射鏡(10)和第一環形可變中性密度濾波片(12)到第二分光鏡(13)組成延遲光路；第五反射鏡(9)和第六反射鏡(10)固定在電控平移臺(11)上，該平移臺(11)與電機驅動器(27)相連，電機驅動器(27)與插在主控計算機(30)主板的運動控制卡(28)相連，組成延遲控制單元；所述的第二分光鏡(13)將所述的標準光路的激光脈沖和所述的延遲光路的激光脈沖合束為主光束，該主光束依次經過第二環形可變中性密度濾波片(14)、電子快門(15)、第三分光鏡(17)、第四分光鏡(19)和第一平凸透鏡(21)，最終聚焦在三維電控樣品臺(25)上的待測樣品上；所述的電子快門(15)與快門驅動器(16)相連，該快門驅動器(16)與電機驅動器(27)相連組成脈沖控制單元；由所述的第三分光鏡(17)分出的反射光依次經第七反射鏡(18)和第二平凸透鏡(22)聚焦于光束質量分析儀(26)，該光束質量分析儀與所述的主控計算機(30)相連組成光束質量分析單元；經所述的第四分光鏡(19)分出的反射光束由能量探測器(20)接收，該能量探測器(20)的輸出端與所述的主控計算機(30)的輸入端相連組成能量監測單元；高分辨彩色CCD成像裝置(23)對準主光束在所述的待測樣品的焦點，所述的高分辨彩色CCD成像裝置(23)與插在主控計算機(30)主板的圖像采集卡(29)相連，組成損傷形貌實時監控單元；白光光源(24)對準所述的三維電控樣品臺(25)以輔助損傷探測照明；該三維電控樣品臺(25)與電機驅動器(27)相連組成樣品三維運動單元。

2.根據權利要求1所述的光學元件表面激光損傷測試系統，其特征在于所述的脈沖激光器(1)為飛秒、皮秒或納秒激光脈寬的激光器，激光波長在300nm至1200nm之間均可。

3.根據權利要求1所述的光學元件表面激光損傷測試系統，其特征在于所述的電子快門(15)的曝光時刻、曝光時長和三維電控樣品臺(25)的運動由計算機編程實現協同控制，在電機運動到指定位置時快門以指定時長開啟。

4.根據權利要求1所述的光學元件表面激光損傷測試系統，其特征在于所述的電控平移臺(11)以及三維電控樣品臺(25)均由主控計算機(30)編程控制，通過LabVIEW編寫電機運動程序實現電機移動速度、加速度、水平間距、豎直間距、水平點數、豎直點數、水平間隔時間、豎直間隔時間、回程量、位移模式的設置，并實時顯示目前打點狀態和下一行倒計時。