[發(fā)明專利]渦輪分子泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410334765.9
• 申請日: 2014-07-11
• 公開（公告）號: CN104421171B
• 公開（公告）日: 2017-09-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 筒井慎吾
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/02;F04D29/00;F04D29/66;F04D29/32
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11019
• 代理人: 壽寧,張華輝

1.一種渦輪分子泵，其特征在于，包括：

外殼，具有進(jìn)氣口及凸緣；

轉(zhuǎn)子組裝體，收容在所述外殼內(nèi)，具有軸及轉(zhuǎn)子，所述轉(zhuǎn)子由多個轉(zhuǎn)子葉片形成，所述多個轉(zhuǎn)子葉片利用緊固用螺栓與所述軸形成為一體；

定子葉片，收容在所述外殼內(nèi)，與所述轉(zhuǎn)子葉片對向地配設(shè)；以及

間隔物，沿著所述外殼內(nèi)的周面積層，且固定所述定子葉片；并且

所述渦輪分子泵在由包含鐵、鉻的合金制作而成且設(shè)置在比真空排氣上游側(cè)第一段的所述轉(zhuǎn)子葉片的真空排氣下游側(cè)端部更靠真空排氣上游側(cè)的零件的氣體接觸部實(shí)施有耐蝕性處理，并且

在由包含鐵、鉻的合金制作而成且設(shè)置在比真空排氣上游側(cè)第一段的所述轉(zhuǎn)子葉片的真空排氣下游側(cè)端部更靠真空排氣下游側(cè)的零件未實(shí)施有耐蝕性處理。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子泵，其特征在于：

所述零件包括平衡板，所述平衡板被所述緊固用螺栓固定在所述轉(zhuǎn)子，并且

在所述緊固用螺栓與所述平衡板的接觸面未實(shí)施有所述耐蝕性處理。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子泵，其特征在于：

所述零件包括平衡板，所述平衡板被所述緊固用螺栓固定在所述轉(zhuǎn)子，并且

在所述轉(zhuǎn)子與所述平衡板的接觸面未實(shí)施有所述耐蝕性處理。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的渦輪分子泵，其特征在于：

在所述轉(zhuǎn)子與所述平衡板的接觸面未實(shí)施有所述耐蝕性處理。

5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于：

所述平衡板具有切削部，所述切削部被切削以進(jìn)行平衡修正，并且

在所述切削部實(shí)施有所述耐蝕性處理。

6.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于：

在所述平衡板中設(shè)置有多個螺孔，在任一個螺孔中螺合有用于修正平衡的附加螺栓，并且

所述零件包括所述附加螺栓，

所述多個螺孔中的未螺合于所述附加螺栓的螺孔為氣體接觸部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于，還包括：

保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，所述保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在所述外殼的所述進(jìn)氣口的內(nèi)表面；以及

安裝用螺栓，用來固定所述保護(hù)網(wǎng)；并且

所述零件包括所述保護(hù)網(wǎng)及所述安裝用螺栓，

所述保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于，還包括：

保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，所述保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在所述外殼的所述進(jìn)氣口的內(nèi)表面；以及

安裝用螺栓，用來固定所述保護(hù)網(wǎng)；并且

所述零件包含所述安裝用螺栓，

所述保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于，還包括：

保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，所述保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在所述外殼的所述進(jìn)氣口的內(nèi)表面；以及

環(huán)形彈簧，用來固定所述保護(hù)網(wǎng)；并且

所述零件包括所述保護(hù)網(wǎng)及所述環(huán)形彈簧，

所述保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于，還包括：

保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，所述保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在所述外殼的所述進(jìn)氣口的內(nèi)表面；以及

環(huán)形彈簧，用來固定所述保護(hù)網(wǎng)；并且

所述零件包括所述環(huán)形彈簧，

所述保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于，還包括：

保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，所述保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在所述外殼的所述進(jìn)氣口的內(nèi)表面，并且

所述保護(hù)網(wǎng)被與所述保護(hù)網(wǎng)形成為一體的突起固定，

所述零件包括所述保護(hù)網(wǎng)，

所述保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于：

所述凸緣在所述進(jìn)氣口的周緣具有O形環(huán)槽，并且

所述O形環(huán)槽及所述凸緣的比所述O形環(huán)槽更靠內(nèi)周側(cè)的部位被實(shí)施有所述耐蝕性處理。

13.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于：

所述凸緣通過中心環(huán)固定在真空室，并且

所述凸緣的比與所述中心環(huán)的接觸部更靠內(nèi)周側(cè)的部位被實(shí)施有所述耐蝕性處理。