[發(fā)明專利]真空泵在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410334674.5 | 申請日： | 2014-07-14 |
| 公開（公告）號： | CN104295509A | 公開（公告）日： | 2015-01-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 揚(yáng)·霍夫曼;米爾科·馬科塔 | 申請（專利權(quán)）人： | 普發(fā)真空有限公司 |
| 主分類號： | F04D19/04 | 分類號： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224 | 代理人： | 鄧云鵬 |
| 地址： | 德國阿*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 真空泵 | ||
1.一種真空泵，特別是渦輪分子泵或者側(cè)槽泵，具有工作空間(12)、軸承空間(14)、設(shè)置在所述工作空間(12)和所述軸承空間(14)之間的分隔壁(16)和至少一個轉(zhuǎn)子軸(18)，所述轉(zhuǎn)子軸(18)延伸通過所述分隔壁，并與所述分隔壁(16)形成間隙(20)，所述真空泵具有在所述工作空間(12)和所述軸承空間(14)之間阻擋的阻擋裝置，其特征在于，所述阻擋裝置由塞班泵級(22)形成，所述塞班泵級(22)用于提供在所述工作空間(12)和所述軸承空間(14)之間的并且穿過所述間隙(20)的泵動。
2.如權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述塞班泵級(22)用于提供從所述軸承空間(14)通過所述間隙(20)到所述工作空間(12)的泵動。
3.如權(quán)利要求1或者2所述的真空泵，其特征在于，所述塞班泵級(22)包括定子部件(24)和轉(zhuǎn)子部件(26)，所述定子部件(24)和所述轉(zhuǎn)子部件(26)中的每個形成兩個相對設(shè)置的表面(28，30)中的一個，所述兩個表面(28，30)起塞班泵級(22)的泵的作用。
4.如權(quán)利要求3所述的真空泵，其特征在于，起泵作用的一個表面(28)由帶紋路的表面形成，起泵作用的另一表面(30)由平面形成。
5.如權(quán)利要求4所述的真空泵，其特征在于，所述定子部件(24)具有起泵作用的帶紋路的表面(28)。
6.如權(quán)利要求3至5中的任一項所述的真空泵，其特征在于，起泵作用的所述兩個表面(28，30)之間形成有所述塞班泵級(22)的至少一個傳輸通道和用于密封所述傳輸通道(34)的密封間隙(32)。
7.如權(quán)利要求6所述的真空泵，其特征在于，限制所述密封間隙(32)的，并且起泵作用的至少一個表面(28，30)的區(qū)域是或者能夠至少部分地通過材料去除加工方法制造。
8.如權(quán)利要求3至7中的任一項所述的真空泵，其特征在于，所述定子部件(24)和/或所述轉(zhuǎn)子部件(26)被設(shè)置為大致為圓盤形。
9.如權(quán)利要求3至8中的任一項所述的真空泵，其特征在于，所述定子部件(24)和/或所述轉(zhuǎn)子部件(26)被設(shè)置為注射成型件、鍛造件或者成形件。
10.如權(quán)利要求3至9中的任一項所述的真空泵，其特征在于，所述定子部件(24)和/或所述轉(zhuǎn)子部件(26)至少部分或者全部地包括金屬，特別包括鋁；和/或所述定子部件(24)和/或所述轉(zhuǎn)子部件(26)至少部分或者全部地包括塑料。
11.如權(quán)利要求3至10中的任一項所述的真空泵，其特征在于，所述定子部件(24)設(shè)置為分離的部件，所述分離的部件被所述真空泵的靜態(tài)組件(16，48)承載。
12.一種制造真空泵的方法，特別是渦輪分子泵或者側(cè)槽泵的制造方法，上述方法提供工作空間(12)、軸承空間(14)、設(shè)置在所述工作空間(12)和所述軸承空間(14)之間的分隔壁(16)，以及延伸通過所述分隔壁(16)的至少一個轉(zhuǎn)子軸(18)，所述轉(zhuǎn)子軸(18)與所述分隔壁(16)形成間隙(20)，還提供用于在所述工作空間(12)和所述軸承空間(14)之間阻擋的阻擋裝置，提供塞班泵級(22)作為阻擋裝置，所述塞班泵級(22)用于提供在所述工作空間(12)和所述軸承空間(14)之間的并且穿過所述間隙(20)的泵動。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，制造定子部件(24)和轉(zhuǎn)子部件(26)，所述定子部件(24)和所述轉(zhuǎn)子部件(26)中的每個具有起泵作用的表面(28，30)，所述起泵作用的表面(28，30)限制所述塞班泵級(22)的至少一個傳輸通道(34)以及密封所述傳輸通道(34)的密封間隙(32)，起泵作用的至少一個表面(28，30)限制所述密封間隙(32)的區(qū)域的至少一部分是通過材料去除加工方法制造。
14.如權(quán)利要求12或者13所述的方法，其特征在于，所述塞班泵級(22)的定子部件(24)為分離的部件，并且連接于真空泵的靜態(tài)組件(16，48)。
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