[發(fā)明專利]樹型陰極真空電弧等離子體沉積磁過濾裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410334441.5
• 申請(qǐng)日: 2014-07-14
• 公開（公告）號(hào): CN105296938A
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳先映;廖斌;黃杰;史學(xué)偉;張旭;彭建華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京師范大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/32
• 分類號(hào): C23C14/32;H01J37/32;H01J37/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種樹型磁過濾裝置，其特征是：該裝置由兩個(gè)以上的磁過濾支線管和一個(gè)磁過濾干線管組成樹形結(jié)構(gòu)，可以裝配兩個(gè)以上的真空電弧源，弧源產(chǎn)生的等離子體通過磁過濾支線管過濾和引導(dǎo)后匯聚到磁過濾干線管，再經(jīng)磁過濾干線管過濾和引導(dǎo)，進(jìn)入真空靶室沉積鍍膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹型磁過濾裝置，其特征是：磁過濾支線管和干線管均是由無磁性金屬材料制造的通電螺線管，管道本身具有良好的氣密性。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹型磁過濾裝置，其特征是：該裝置的磁過濾支線管和磁過濾干線管合理裝配形成樹形裝置，連接處應(yīng)該有良好的氣密性。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹型磁過濾裝置，其特征是：該裝置的磁過濾支線管和干線管管道截面形狀可以是圓形、方形；支線管尺寸小于等于干線管。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹型磁過濾裝置，其特征是：磁過濾支線管和干線管可以是直管、彎管或多種形式的組合管。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹型磁過濾裝置，其特征是：需要采用合適的支線管和干線管管道長(zhǎng)度或角度，確保干線管出口位于支線管入口視線外，且磁過濾支線管與干線管的磁場(chǎng)方向沿管道軸線順向，磁場(chǎng)強(qiáng)度合理匹配。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹型磁過濾裝置，其特征是：該裝置必須要有合適的冷卻措施以確保正常工作。