[發(fā)明專利]壓電材料、壓電元件和電子設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410333817.0 | 申請日: | 2014-07-14 |
| 公開(公告)號: | CN104276822B | 公開(公告)日: | 2017-05-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 村上俊介;松田堅義;大志萬香菜子;林潤平;渡邊隆之;田中秀典;齋藤宏 | 申請(專利權(quán))人: | 佳能株式會社 |
| 主分類號: | C04B35/49 | 分類號: | C04B35/49;H01L41/187 |
| 代理公司: | 北京魏啟學(xué)律師事務(wù)所11398 | 代理人: | 魏啟學(xué) |
| 地址: | 日本東京都大*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 壓電 材料 元件 電子設(shè)備 | ||
1.一種壓電材料,其特征在于,所述壓電材料包括含有式1所示鈣鈦礦型金屬氧化物的主成分,由Mn組成的第一副成分,由Bi或Bi和Li組成的第二副成分,和由Si和B組成的第四副成分,
其中基于100重量份所述金屬氧化物,以金屬計,Mn的含量為0.040重量份至0.500重量份;和基于100重量份所述金屬氧化物,以金屬計,Bi的含量為0.042重量份至0.850重量份,Li的含量為0.028重量份以下,包括0重量份,和
其中,基于100重量份所述式1所示的鈣鈦礦型金屬氧化物,以金屬計,所述第四副成分的含量為0.001重量份至4.000重量份,
(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3 (1),
其中,0.030≤x<0.090,0.030≤y≤0.080,和0.9860≤a≤1.0200。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電材料,其進(jìn)一步包括由Mg組成的第三副成分,其中
基于100重量份所述式1所示的鈣鈦礦型金屬氧化物,以金屬計,所述第三副成分的含量為0.10重量份以下,排除0重量份。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電材料,其中構(gòu)成所述壓電材料的晶粒具有500nm至10μm的平均圓當(dāng)量直徑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電材料,其具有93%至100%的相對密度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電材料,其具有在1kHz頻率下的介電損耗為0.006以下。
6.一種壓電元件,其至少包括:第一電極,壓電材料部,和第二電極,其特征在于,構(gòu)成所述壓電材料部的壓電材料為根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的壓電材料。
7.一種多層壓電元件,其包括交替層壓的壓電材料層和各自包含內(nèi)部電極的電極層,其特征在于,所述壓電材料層由根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的壓電材料制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多層壓電元件,其中所述內(nèi)部電極包含Ag和Pd,使得Ag的含量M1與Pd的含量M2的重量比M1/M2為0.25≤M1/M2≤4.0。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多層壓電元件,其中所述內(nèi)部電極包含Ni和Cu中的至少一種。
10.一種液體排出頭,其特征在于,所述液體排出頭至少包括設(shè)置有包含根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電元件或根據(jù)權(quán)利要求7所述的多層壓電元件的振動部的液室,和與所述液室連通的排出口。
11.一種液體排出裝置,其特征在于,所述液體排出裝置包括用于輸送記錄介質(zhì)的輸送部和根據(jù)權(quán)利要求10所述的液體排出頭。
12.一種超聲波馬達(dá),其特征在于,所述超聲波馬達(dá)至少包括包含根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電元件或根據(jù)權(quán)利要求7所述的多層壓電元件的振動體,和與所述振動體接觸的移動體。
13.一種光學(xué)設(shè)備,其特征在于,所述光學(xué)設(shè)備包括在驅(qū)動部內(nèi)的根據(jù)權(quán)利要求12所述的超聲波馬達(dá)。
14.一種振動裝置,其特征在于,所述振動裝置包括包含設(shè)置有根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電元件或根據(jù)權(quán)利要求7所述的多層壓電元件的振動板的振動體。
15.一種除塵裝置,其特征在于,所述除塵裝置包括設(shè)置有根據(jù)權(quán)利要求14所述的振動裝置的振動部。
16.一種攝像裝置,其特征在于,所述攝像裝置至少包括根據(jù)權(quán)利要求15所述的除塵裝置和攝像元件單元,其中所述除塵裝置的振動板設(shè)置在所述攝像元件單元的光接收面?zhèn)取?/p>
17.一種電子設(shè)備,其特征在于,所述電子設(shè)備包括包含根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電元件或根據(jù)權(quán)利要求7所述的多層壓電元件的壓電聲學(xué)組件。
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