[發(fā)明專利]雙軸石英角速度傳感器芯片有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410332852.0 | 申請日： | 2014-07-14 |
| 公開（公告）號： | CN104132657B | 公開（公告）日： | 2017-02-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 林丙濤;朱振忠;李文蘊;蔣昭興;滿欣;趙建華 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國電子科技集團公司第二十六研究所 |
| 主分類號： | G01C19/5621 | 分類號： | G01C19/5621 |
| 代理公司： | 重慶博凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司50212 | 代理人： | 李海華 |
| 地址： | 400060 *** | 國省代碼： | 重慶;85 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 石英 角速度 傳感器 芯片 | ||
1.雙軸石英角速度傳感器芯片，其特征在于：包括兩平行的驅(qū)動梁、兩平行的Y軸檢測梁、一根Z軸檢測梁和連接梁，所述驅(qū)動梁、Y軸檢測梁和Z軸檢測梁位于同一平面且其長度方向均沿Y向設(shè)置，連接梁兩端與兩驅(qū)動梁和兩Y軸檢測梁連接形成H形結(jié)構(gòu)，兩驅(qū)動梁位于連接梁同一側(cè)，兩Y軸檢測梁位于連接梁另一側(cè)，Z軸檢測梁一端與連接梁中部固接并與Y軸檢測梁位于同一側(cè)，Z軸檢測梁另一端與固定塊固接；
兩驅(qū)動梁的上下表面和左右側(cè)壁均覆蓋有激勵電極，同一驅(qū)動梁的上下表面的激勵電極連接在一起用于與激勵電源的正極/負極連接，該同一驅(qū)動梁的左右側(cè)壁的激勵電極連接在一起用于與激勵電源的負極/正極連接；兩驅(qū)動梁上下表面激勵電極和左右側(cè)壁激勵電極與激勵電源的連接極性相反以使兩個驅(qū)動梁沿X方向做彎曲反向振動；
兩Y軸檢測梁的左右側(cè)壁均覆蓋有敏感電極，左右側(cè)壁的敏感電極均由上下平行分開的兩部分構(gòu)成，用于收集Y軸檢測模態(tài)下的Z向平面外振動所引起的壓電電荷；
所述Z軸檢測梁的上下表面和左右側(cè)壁均覆蓋有敏感電極，用于收集Z軸檢測模態(tài)下的X向平面內(nèi)振動所引起的壓電電荷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙軸石英角速度傳感器芯片，其特征在于：所述驅(qū)動梁、Y軸檢測梁、Z軸檢測梁、連接梁和固定塊在同一塊具有壓電效應(yīng)的石英晶體基材上一體制作而成。
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G01C 測量距離、水準(zhǔn)或者方位；勘測；導(dǎo)航；陀螺儀；攝影測量學(xué)或視頻測量學(xué)
G01C19-00 陀螺儀；使用振動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置；不帶有運動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置
G01C19-02 .旋轉(zhuǎn)式陀螺儀
G01C19-56 .使用振動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置，例如基于科里奧利力的振動角速度傳感器
G01C19-58 .不帶有運動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置
G01C19-60 ..電子磁共振或核磁共振陀螺測量儀
G01C19-64 ..利用薩格萘克效應(yīng)，即利用逆向旋轉(zhuǎn)的兩電磁束之間旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生位移的陀螺測量儀
