[發明專利]一種工件臺長條鏡面形漂移補償的方法有效
| 申請號： | 201410332073.0 | 申請日： | 2014-07-11 |
| 公開（公告）號： | CN105278254B | 公開（公告）日： | 2018-01-19 |
| 發明（設計）人： | 蔡良斌 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備（集團）股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 工件 長條 鏡面形 漂移 補償 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種工件臺長條鏡面形漂移補償的方法，其特征在于，包括：步驟一、校準參考溫度和壓力下的所述長條鏡的面形誤差；步驟二、測試不同溫度和壓力時所述長條鏡的面形誤差，根據不同溫度和壓力的所述長條鏡面形誤差擬合所述長條鏡面形誤差變化量隨溫度和壓力變化的系數；步驟三、根據實測的溫度和壓力值以及面形誤差變化量隨溫度和壓力變化的系數實時計算面形誤差補償量；步驟四、根據所述面形誤差補償量實現面形漂移補償。
2.如權利要求1所述的面形漂移補償的方法，其特征在于，所述步驟一具體包括：利用所述工件臺X方向和Y方向的溫度和壓力傳感器測量所述工件臺的溫度和壓力作為參考溫度和壓力，將所述長條鏡面形誤差作為一恒定的系統誤差對所述參考溫度和壓力測量補償校準。
3.如權利要求1所述的面形漂移補償的方法，其特征在于，所述步驟二測試不同溫度和壓力時所述長條鏡的面形誤差包括：按照多個預設時間，利用所述工件臺X方向和Y方向的溫度和壓力傳感器測試不同時間的溫度和壓力下的所述長條鏡的面形誤差。
4.如權利要求1所述的面形漂移補償的方法，其特征在于，所述步驟二中根據不同時間的溫度和壓力下的所述長條鏡面形誤差以及公式擬合出公式中的系數(ai,bi；ci,di)，其中p0、T0分別表示初始壓力與溫度，p、T分別表示不同時間測得的壓力和溫度，e為常數。
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