[發(fā)明專利]一種石墨烯轉(zhuǎn)移方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410331217.0
• 申請日: 2014-07-11
• 公開（公告）號(hào): CN104108704A
• 公開（公告）日: 2014-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬耀光;劉楚;戴倫
• 申請（專利權(quán)）人: 北京大學(xué)
• 主分類號(hào): C01B31/04
• 分類號(hào): C01B31/04
• 代理公司: 北京萬象新悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11360
• 代理人: 朱紅濤

1.一種石墨烯轉(zhuǎn)移方法，其特征是，將滴定管固定在鐵架臺(tái)上，將金屬箔長有石墨烯的一面向下置于目標(biāo)襯底表面，將襯底放于滴定管的下方，將金屬箔壓平；將滴定管中的FeCl₃溶液滴于金屬箔上方，通過控制滴定管的開關(guān)控制流出的FeCl₃溶液量，使得石墨烯與襯底之間沒有FeCl₃溶液進(jìn)入。

2.如權(quán)利要求1所述的石墨烯轉(zhuǎn)移方法，其特征是，所述金屬箔為銅箔或鎳箔。

3.如權(quán)利要求1所述的石墨烯轉(zhuǎn)移方法，其特征是，所用襯底為固態(tài)襯底。

4.如權(quán)利要求1所述的石墨烯轉(zhuǎn)移方法，其特征是，所用襯底為硅片。

5.一種石墨烯轉(zhuǎn)移方法，其特征是，將滴定管固定在鐵架臺(tái)上，將金屬箔長有石墨烯的一面向下置于目標(biāo)襯底表面，將襯底放于滴定管的下方，將金屬箔壓平；將滴定管中的稀HCl與H₂O₂混合液腐蝕溶液滴于金屬箔上方，通過控制滴定管的開關(guān)控制流出的腐蝕溶液量，使得石墨烯與襯底之間沒有腐蝕溶液進(jìn)入。

6.一種石墨烯轉(zhuǎn)移方法，其特征是，包括如下步驟：

1)在金屬箔上采用CVD法制備石墨烯；

2)將金屬箔生長有石墨烯的一面向下置于目標(biāo)襯底表面，將金屬箔壓平；

3)將帶有金屬箔的襯底置于滴定系統(tǒng)的下方，通過滴定管使得FeCl₃溶液流到金屬箔上，同時(shí)通過滴定管下方的小塞子控制石墨烯上方的FeCl₃溶液的量；保證滴管中的溶液與金屬箔上的溶液在腐蝕過程中始終連通；

4)將樣品靜置，直到FeCl₃溶液將其所在區(qū)域金屬箔腐蝕完全，最終石墨烯會(huì)在FeCl₃溶液重力和范德瓦爾斯力的共同作用下與目標(biāo)襯底粘附；

5)用稀鹽酸溶液浸泡后，用去離子水反復(fù)對(duì)上述襯底進(jìn)行沖洗，去除殘留的Fe³⁺離子；之后將清洗干凈的襯底取出，并用氣槍將之吹干。

7.如權(quán)利要求6所述的石墨烯轉(zhuǎn)移方法，其特征是，步驟3)中，F(xiàn)eCl₃溶液的濃度為0.01g/ml-1g/ml。

8.如權(quán)利要求6所述的石墨烯轉(zhuǎn)移方法，其特征是，步驟3)中，F(xiàn)eCl₃溶液的濃度為0.1g/ml。

9.如權(quán)利要求6所述的石墨烯轉(zhuǎn)移方法，其特征是，步驟4)中，在將樣品靜置期間，對(duì)樣品加熱以加快反應(yīng)速度，加熱溫度為70℃。

10.如權(quán)利要求6所述的石墨烯轉(zhuǎn)移方法，其特征是，步驟5)中，稀鹽酸溶液的濃度為0.01mol/L-2mol/L。