[發明專利]一種大數值孔徑浸沒式投影物鏡

有效

• 申請號: 201410330973.1
• 申請日: 2014-07-11
• 公開（公告）號: CN104111515A
• 公開（公告）日: 2014-10-22
• 發明（設計）人: 白瑜;邢廷文;林嫵媚;朱紅偉;呂保斌;廖志遠;鄧超
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G02B13/00
• 分類號: G02B13/00;G02B13/18;G03F7/20
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 楊學明;顧煒

1.一種大數值孔徑浸沒式投影物鏡，其特征在于，以物平面輸入光束傳播方向為系統光軸，在系統光軸上依次放置透射組G1、透射組G2、透射組G3、反射組和透射組G4、透射組G5、透射組G6，其中透射組G1焦距為正，透射組G2焦距為正，透射組G3焦距為正，反射組焦距為負，透射組G4焦距為負，透射組G5焦距為正，透射組G6焦距為正；

透鏡組G1的焦距和系統總焦距的比值范圍區間為[-0.009，-0.008]，透鏡組G2的焦距和系統總焦距的比值范圍區間為[-0.01，-0.009]，透鏡組G3的焦距和系統總焦距的比值范圍區間為[-0.08，-0.05]，反射組的焦距和系統總焦距的比值范圍區間為[0.006，0.009]，透鏡組G4的焦距和系統總焦距的比值范圍區間為[0.01，0.02]，透鏡組G5的焦距和系統總焦距的比值范圍區間為[-0.02，-0.01]，透鏡組G6的焦距和系統總焦距的比值范圍區間為[-0.01，-0.008]；

透射組G1包括第一正透鏡(1)、第二正透鏡(2)、第三正透鏡(3)、第四正透鏡(4)、第一負透鏡(5)；

透射組G2包括第二負透鏡(6)、第五正透鏡(7)、第六正透鏡(8)、第三負透鏡(9)、第七正透鏡(10)；

透射組G3包括第八正透鏡(11)、第四負透鏡(12)、第九正透鏡(13)；

反射組包括第一反射鏡(14)、第二反射鏡(15)，其中第一反射鏡(14)焦距為負，第二反射鏡焦距(15)為正，第一反射鏡(14)的焦距和反射組的焦距比值范圍區間為[0.5,0.8]，第二反射鏡(15)的焦距和反射組的焦距比值范圍區間為[-0.6，-0.4]；

透射組G4包括第十正透鏡(16)、第五負透鏡(17)；

透射組G5包括第六負透鏡(18)、第十一正透鏡(19)、第十二正透鏡(20)、第十三正透鏡(21)、第十四正透鏡(22)、第十五正透鏡(23)；

透射組G6包括第十六正透鏡(24)、第十七正透鏡(25)、第十八正透鏡(26)。

2.根據權利要求1所述的大數值孔徑浸沒式投影物鏡，其特征在于：所述的大數值孔徑浸沒式投影物鏡中的第一反射鏡(14)、第二反射鏡(15)均為階數為20次的高次非球面，其中第一反射鏡(14)的通光口徑為317mm，第二反射鏡(15)的通光口徑為240mm。

3.根據權利要求1所述的大數值孔徑浸沒式投影物鏡，其特征在于：所述的大數值孔徑浸沒式投影物鏡的透射組中共使用了20個非球面，第二正透鏡(2)、第三正透鏡(3)、第四正透鏡(4)、第一負透鏡(5)、第二負透鏡(6)、第五正透鏡(7)、第六正透鏡(8)、第三負透鏡(9)、第七正透鏡(10)、第八正透鏡(11)、第四負透鏡(12)、第九正透鏡(13)、第十正透鏡(16)、第五負透鏡(17)、第六負透鏡(18)、第十一正透鏡(19)、第十二正透鏡(20)、第十三正透鏡(21)、第十六正透鏡(24)、第十七正透鏡(25)中都使用了非球面。

4.根據權利要求1所述的大數值孔徑浸沒式投影物鏡，其特征在于：所述的大數值孔徑浸沒式投影物鏡的孔徑光闌設置在第十五正透鏡(23)和第十六正透鏡(24)之間。

5.根據權利要求1所述的大數值孔徑浸沒式投影物鏡，其特征在于：所述的大數值孔徑浸沒式投影物鏡中透射鏡的材料都是熔石英。

6.根據權利要求1所述的大數值孔徑浸沒式投影物鏡，其特征在于：所述的大數值孔徑浸沒式投影物鏡的一次像面位于反射組內部。

7.根據權利要求1所述的大數值孔徑浸沒式投影物鏡，其特征在于：所述大數值孔徑浸沒式投影物鏡的像方處使用的浸沒液為水。