[發明專利]一種用于光刻設備的吸聲裝置有效
| 申請號： | 201410330541.0 | 申請日： | 2014-07-11 |
| 公開（公告）號： | CN105242496B | 公開（公告）日： | 2018-01-19 |
| 發明（設計）人： | 徐士龍;鐘亮;王璟;季采云 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備（集團）股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 光刻 設備 吸聲 裝置 | ||
1.一種用于光刻設備的吸聲裝置，其特征在于，所述吸聲裝置包括一弧形微穿孔板以及支撐所述弧形微穿孔板的調節裝置組成，所述弧形微穿孔板上包括若干微穿孔，所述調節裝置與所述弧形微穿孔板球鉸鏈連接；所述調節裝置調節所述弧形微穿孔板相對于被吸聲器件的距離及角度。
2.如權利要求1所述的吸聲裝置，其特征在于，所述調節裝置的數量為大于等于三個。
3.如權利要求1所述的吸聲裝置，其特征在于，所述調節裝置包括一連接桿與位于所述連接桿外部的套筒組成。
4.如權利要求3所述的吸聲裝置，其特征在于，所述連接桿與所述套筒通過若干調節定位孔保持相對位置固定。
5.如權利要求3所述的吸聲裝置，其特征在于，所述連接桿與所述套筒通過螺紋保持相對位置固定。
6.如權利要求3所述的吸聲裝置，其特征在于，所述套筒包括一支撐單元以及位于所示支撐單元上方的一調節腔，所述支撐單元與所述調節腔之間通過一移動板連接。
7.如權利要求3所述的吸聲裝置，其特征在于，所述套筒包括一支撐單元以及第一調節腔和第二調節腔，所述第一調節腔和第二調節腔之間通過一移動板連接。
8.如權利要求1所述的吸聲裝置，其特征在于，所述微穿孔板的材料是以下材料中的一種或幾種：硬質纖維板、膠合板、石膏板、纖維水泥板、鋼板、鋁板。
9.如權利要求1所述的吸聲裝置，其特征在于，所述微穿孔的形式為圓孔、圓錐孔或縫隙結構。
10.如權利要求6所述的吸聲裝置，其特征在于，所述移動板通過一氣壓控制裝置、液壓控制裝置或機械控制裝置控制移動。
11.一種對權利要求1-10中任意一項權利要求所保護的吸聲裝置的控制方法，其特征在于：包括以下步驟：
步驟1，通過噪聲測試系統識別噪聲頻率信息，然后將頻率信息發送到處理器；
步驟2，處理器將頻率信息轉換成控制信號，控制器接收到控制信號后輸出驅動信號至吸聲裝置；
步驟3，控制吸聲裝置中的微穿孔板的空腔深度和角度調節；
步驟4，降噪效果麥克風采集經過吸聲后的噪聲信息，反饋給處理器，并進入步驟2，直到達到設定的吸聲效果。
12.一種使用權利要求1-10中任意一項權利要求保護的吸聲裝置的光刻機，其特征在于：所述吸聲裝置安裝在框架上、測量系統上、物鏡系統上或氣浴系統上，所述吸聲裝置相對于其安裝位置的調整角度為0至40度。
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