[發(fā)明專利]一種連續(xù)式真空紫外光臭氧表面清洗與氧化改性設(shè)備及其使用方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410330437.1
• 申請日: 2014-07-11
• 公開（公告）號: CN104167381B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝振勇;成秋云;吳得軼;李曄純;周順峰
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 長沙正奇專利事務(wù)所有限責任公司43113
• 代理人: 馬強,李發(fā)軍

1.一種連續(xù)式真空紫外光臭氧表面清洗與氧化改性設(shè)備，包括工藝腔（3），以及設(shè)置在工藝腔（3）內(nèi)的紫外光光源系統(tǒng)（5），其特征在于，?還包括預(yù)熱腔（2）、冷卻腔（4）；所述預(yù)熱腔（2）和冷卻腔（4）壁面上開有保護氣入口（14,16），所述工藝腔（3）壁面上開有氧氣進氣口（15）；所述工藝腔（3）設(shè)置在預(yù)熱腔（2）和冷卻腔（4）之間并通過腔室門（11,12）隔開，所述預(yù)熱腔（2）進料口和冷卻腔（4）的出料口也設(shè)有相應(yīng)的腔室門（10,13）；所述預(yù)熱腔（2）、工藝腔（3）、冷卻腔（4）內(nèi)以及預(yù)熱腔（2）的進料口（8）和冷卻腔（4）的出料口（9）處均設(shè)有可將被處理樣品按需要從預(yù)熱腔（2）進料口（8）傳送至冷卻腔（4）出料口（9）的上下料傳送系統(tǒng)（1）；所述預(yù)熱腔（2）、工藝腔（3）、冷卻腔（4）通過管道和閥門與真空系統(tǒng)（6,17）相連；所述預(yù)熱腔（2）、工藝腔（3）內(nèi)設(shè)有加熱系統(tǒng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)式真空紫外光臭氧表面清洗與氧化改性設(shè)備，其特征在于，所述工藝腔（3）內(nèi)安裝有真空傳感器、溫度傳感器、臭氧濃度傳感器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)式真空紫外光臭氧表面清洗與氧化改性設(shè)備，其特征在于，所述紫外光光源系統(tǒng)（5）采用一組具有特定波長的紫外光燈管，與被處理樣品傳送方向平行或者垂直排列而形成一個面光源。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的連續(xù)式真空紫外光臭氧表面清洗與氧化改性設(shè)備，其特征在于，所述紫外光燈管上方裝有反射板，在反射板上方設(shè)有冷卻系統(tǒng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)式真空紫外光臭氧表面清洗與氧化改性設(shè)備，其特征在于，所述真空系統(tǒng)采用兩個真空泵，一個真空泵連接工藝腔（3），一個真空泵連接預(yù)熱腔（2）和冷卻腔（4）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)式真空紫外光臭氧表面清洗與氧化改性設(shè)備，其特征在于，所述上下料傳送系統(tǒng)包括五組傳送機構(gòu)，一組位于進料口（8）處，一組位于出料口（9）處，預(yù)熱腔（2）、工藝腔（3）、冷卻腔（4）內(nèi)各設(shè)有一組；每組傳送機構(gòu)均采用鏈輪和鏈條帶動滾軸的傳動方式，每根滾軸上安置多個小滾球，使小滾球僅與被處理樣品兩側(cè)的邊緣部分點接觸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)式真空紫外光臭氧表面清洗與氧化改性設(shè)備，其特征在于，所述加熱系統(tǒng)為設(shè)置在預(yù)熱腔（2）的上下料傳送系統(tǒng)和工藝腔（3）的上下料傳送系統(tǒng)下方的平板式陶瓷加熱片。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的連續(xù)式真空紫外光臭氧表面清洗與氧化改性設(shè)備，其特征在于，還包括自動控制與檢測系統(tǒng)，該自動控制與檢測系統(tǒng)分別與所述真空傳感器、溫度傳感器、臭氧濃度傳感器通過信號線相連。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的連續(xù)式真空紫外光臭氧表面清洗與氧化改性設(shè)備，其特征在于，各真空泵與相應(yīng)的工藝腔（3）、預(yù)熱腔（2）和冷卻腔（4）相連的管道上均相應(yīng)地裝有擋板閥（18,19,20）；與工藝腔（3）相連的真空泵與工藝腔（3）之間的連接管道上設(shè)有蝶閥（21）。

10.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的連續(xù)式真空紫外光臭氧表面清洗與氧化改性設(shè)備，其特征在于，相鄰兩根紫外光燈管間距為5mm~10mm，紫外光燈管與被處理樣品之間的垂直距離為10mm~80mm。

11.一種如權(quán)利要求1-10之一所述連續(xù)式真空紫外光臭氧表面清洗與氧化改性設(shè)備的使用方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1：打開設(shè)備電源，做好設(shè)備運行前準備工作；

步驟2：打開進料口腔室門（10），將第一組樣品通過上下料傳送系統(tǒng)（1）送入預(yù)熱腔（2），關(guān)閉進料口腔室門（10），對預(yù)熱腔（2）進行預(yù)抽真空和并對樣品進行預(yù)加熱，同時對工藝腔（3）進行抽真空；

步驟3：當預(yù)熱腔（2）和工藝腔（3）氣壓平衡時，打開預(yù)熱腔（2）和工藝腔（3）之間的腔室門（11），將樣品通過上下料傳送系統(tǒng)（1）送入工藝腔（3），然后關(guān)閉預(yù)熱腔（2）和工藝腔（3）之間的腔室門（11）；

步驟4：繼續(xù)對工藝腔（3）抽真空，待抽真空結(jié)束后，向工藝腔（3）內(nèi)充入氧氣，開啟紫外光光源系統(tǒng)，對樣品表面進行清洗與氧化改性；

步驟5：在步驟4進行的同時，對預(yù)熱腔（2）進行破真空處理，然后打開進料口腔室門（10），將下一組樣品送入預(yù)熱腔（2），進行預(yù)熱和預(yù)抽真空，同時開始對冷卻腔（4）抽真空；

步驟6：樣品反應(yīng)完成后，打開工藝腔（3）與冷卻腔（4）之間的腔室門（12），通過上下料傳送系統(tǒng)（1）將樣品送入冷卻腔（4）后，關(guān)閉腔室門（12），在冷卻腔（4）內(nèi)通入保護氣體對樣品進行冷卻和破真空，完成后，打開出料口腔室門（13），將樣品送出冷卻腔（4），完成對該組樣品的加工；

步驟7：將樣品從工藝腔（3）送入冷卻腔（4）后，再打開預(yù)熱腔（2）和工藝腔（3）之間腔室門（11），將下一組樣品送入工藝腔（3），然后關(guān)閉該腔室門（11），重復(fù)步驟4到步驟7；

步驟8：結(jié)束生產(chǎn)任務(wù)時，等待設(shè)備中樣品加工完成后，關(guān)閉系統(tǒng)電源。