[發明專利]一種濕度傳感器及其制備方法無效
| 申請號： | 201410328078.6 | 申請日： | 2014-07-10 |
| 公開（公告）號： | CN104062322A | 公開（公告）日： | 2014-09-24 |
| 發明（設計）人： | 劉瑞;張珽;谷文;沈方平;丁海燕;祁明鋒 | 申請（專利權）人： | 蘇州能斯達電子科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/00 | 分類號： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人： | 麥小嬋;郝傳鑫 |
| 地址： | 215123 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 濕度 傳感器 及其 制備 方法 | ||
1.一種濕度傳感器，其特征在于，包括襯底，形成于所述襯底上的氧化硅層，電鍍于所述氧化硅層上的下電極和加熱電極，旋涂于所述下電極和所述加熱電極上的濕度敏感層，以及電鍍于所述濕度敏感層上的上電極；其中，所述下電極、所述加熱電極和所述上電極由金屬鎳制成；所述濕度敏感層由高分子材料制成。
2.如權利要求1所述的濕度傳感器，其特征在于，所述濕度傳感器還包括濺射于所述氧化硅層上的連接層，以及濺射于所述連接層上的導電層。
3.如權利要求1或2所述的濕度傳感器，其特征在于，所述濕度傳感器還包括濺射于所述濕度敏感層上的導電層。
4.一種濕度傳感器的制備方法，其特征在于，包括：
S1、提供一層襯底，并在所述襯底上形成一層氧化硅層；
S2、在所述氧化硅層上電鍍出下電極和加熱電極；所述下電極和所述加熱電極由金屬鎳制成；
S3、在所述下電極和所述加熱電極上旋涂一層濕度敏感層；所述濕度敏感層由高分子材料制成；
S4、在所述濕度敏感層上電鍍出上電極；所述上電極由金屬鎳制成。
5.如權利要求4所述的濕度傳感器的制備方法，其特征在于，在所述步驟S2之前還包括：
在所述氧化硅層上濺射一層連接層；
在所述連接層上濺射一層導電層。
6.如權利要求4或5所述的濕度傳感器的制備方法，其特征在于，在所述步驟S4之前還包括：
在所述濕度敏感層上濺射一層導電層。
7.如權利要求4所述的濕度傳感器的制備方法，其特征在于，在所述步驟S4之后還包括：
去除所述濕度敏感層上多余的高分子材料。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于蘇州能斯達電子科技有限公司，未經蘇州能斯達電子科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410328078.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
