[發明專利]閘閥

有效

• 申請號: 201410326462.2
• 申請日: 2014-07-10
• 公開（公告）號: CN104279345B
• 公開（公告）日: 2017-01-18
• 發明（設計）人: 石垣恒雄;下田洋己;小川浩司
• 申請（專利權）人: SMC株式會社
• 主分類號: F16K3/02
• 分類號: F16K3/02;F16K3/30
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038
• 代理人: 黃永杰

技術領域

本發明涉及配置在半導體制造裝置等中的真空腔之間的閘閥，更詳細地涉及能夠以不滑動的方式選擇性地開閉通向處理腔的第一開口和通向轉移腔的第二開口的閘閥。

背景技術

閘閥通常用于通向半導體制造裝置等中的真空腔的開口的開閉，閘閥構成為，具有安裝有閥板的閥軸以及與該閥軸連結的氣缸，通過由該氣缸操作所述閥軸，從而使所述閥板的密封部件與設置在所述開口周圍的閥座面接觸或分離來開閉該開口。

而且，關于閘閥中的所述開口的開閉操作，主要已知有以閥軸的一點為支點使其轉動來開閉操作閥板的方式、以及使由閥軸及閥板構成的閥裝配體相對于閥座面垂直移動來開閉操作閥板的方式。

其中特別是采用了后者的方式的閘閥，可以使閥板的密封部件的整周同時與所述開口的閥座面接觸或分離地開閉該開口而不使兩者相互滑動，因此，被稱為不滑動型閘閥(non-slide?type?gate?valve)，由于可以抑制由密封部件和密封面的摩擦而引起的密封部件的扭曲、磨損粉末的產生等，所以近來正被關注。

如上所述的不滑動型閘閥的一例在專利文獻1中公開。如圖11、圖12所示，該專利文獻1中記載的閘閥具有：在經由桿臂124固定于驅動桿109的一對凸輪架128的每一個上以相對于閥座面110傾斜的朝向形成的兩條凸輪槽130、以及在棒部件112的左側面和右側面上各自分別安裝有兩個且與對應的各個凸輪槽130嵌合的凸輪輥133。而且，安裝于凸輪輥133的停止輥136與形成于輥架132的抵接部137抵接，在棒部件112停止上升并壓縮了壓縮彈簧125的狀態下，凸輪架128上升，各個凸輪槽130相對于對應的凸輪輥133而上升，因此，凸輪輥133被傾斜的凸輪槽130的槽壁推壓，使得閥板105以及閥軸107相對于閥座面110垂直移動。

專利文獻

專利文獻1：日本特開2013-96557號公報

發明要解決的課題

但是，上述專利文獻1中公開的不滑動型閘閥是以不滑動的方式進行與處理腔連接的一個開口的開閉的閘閥，但另一方面，為了謀求閘閥和處理腔的維護作業的高效化，針對與轉移腔連接的另一個開口也能夠以不滑動的方式進行開閉的閘閥被期待。

發明內容

即，本發明的目的在于提供一種閘閥，不僅針對與處理腔連接的第一開口，而且針對與轉移腔連接的第二開口也能夠以不滑動的方式進行開閉。

用于解決課題的方案