[發(fā)明專利]一種柔性透明電極及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410324916.2 | 申請日: | 2014-07-09 |
| 公開(公告)號: | CN105280840A | 公開(公告)日: | 2016-01-27 |
| 發(fā)明(設計)人: | 李耘;高卓;付東 | 申請(專利權)人: | TCL集團股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/56 | 分類號: | H01L51/56;H01L51/52 |
| 代理公司: | 深圳市君勝知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 王永文;劉文求 |
| 地址: | 516006 廣東省*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 柔性 透明 電極 及其 制備 方法 | ||
1.一種柔性透明電極的制備方法,其特征在于,包括步驟:
A、在載體基板上涂覆聚合物溶液,形成聚合物膜;
B、在所述聚合物膜上制備柵格圖案的納米金屬墨水,通過高溫退火處理形成金屬柵格電極;
C、在所述聚合物膜上具有金屬柵格電極的一側涂覆透明導電膠并烘干燒結;
D、將所述聚合物膜、金屬柵格電極和透明導電膠從載體基板上剝離下來,得到對應的柔性透明電極;
在所述步驟A中,先在載體基板的四周進行掩膜處理,然后采用含氟氣體低溫等離子體轟擊載體基板的中間區(qū)域,轟擊時間控制在15~45min, 再在載體基板中間區(qū)域添加憎水劑;
所述載體基板為玻璃;
所述的在所述聚合物膜上制備柵格圖案的納米金屬墨水包括:在所述聚合物膜上通過噴墨印刷或氣流噴印納米金屬墨水,來制備柵格圖案的納米金屬墨水。
2.根據(jù)權利要求1所述的柔性透明電極的制備方法,其特征在于,所述步驟B具體包括:
B1、在所述聚合物膜上通過噴墨印刷或氣流噴印納米金屬墨水,來制備柵格圖案的納米金屬墨水;
B2、將具有柵格圖案納米金屬墨水的聚合物膜放入烘箱進行高溫退火燒結,使所述聚合物膜上形成對應的金屬柵格電極。
3.根據(jù)權利要求1所述的柔性透明電極的制備方法,其特征在于,所述柵格圖案由多個網(wǎng)格陣列排布構成。
4.根據(jù)權利要求3所述的柔性透明電極的制備方法,其特征在于,所述網(wǎng)格為矩形或六邊形。
5.根據(jù)權利要求1所述的柔性透明電極的制備方法,其特征在于,所述聚合物為聚酰亞胺,所述納米金屬墨水為納米銀金屬墨水,所述透明導電膠為均勻分散的CNT或PEDOT:PSS溶液。
6.根據(jù)權利要求5所述的柔性透明電極的制備方法,其特征在于,所述金屬柵格電極為納米銀金屬柵格電極,所述納米銀金屬柵格電極的線寬小于或等于5μm,厚度為200~400nm。
7.根據(jù)權利要求5所述的柔性透明電極的制備方法,其特征在于,所述CNT溶液為SWNT溶液。
8.根據(jù)權利要求1所述的柔性透明電極的制備方法,其特征在于,所述步驟C具體包括:
C1、通過絲網(wǎng)印刷或旋涂方式,在所述聚合物膜上具有金屬柵格電極的一側涂敷透明導電膠并烘干燒結。
9.一種柔性透明電極,其特征在于,采用如權利要求1至8任一項所述的柔性透明電極的制備方法制成。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態(tài)器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發(fā)射的,如有機發(fā)光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





