[發明專利]一種高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法

有效

• 申請號: 201410324869.1
• 申請日: 2014-07-09
• 公開（公告）號: CN104060241B
• 公開（公告）日: 2017-01-25
• 發明（設計）人: 郭玉獻;徐海燕;童彬
• 申請（專利權）人: 安徽建筑大學
• 主分類號: C23C18/12
• 分類號: C23C18/12
• 代理公司: 合肥天明專利事務所34115
• 代理人: 奚華保

1.一種高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法，其制備方法是先用釩的醇鹽制備前驅液，然后將前驅液涂于襯底表面制備前驅物薄膜，最后將前驅物薄膜置于真空條件下燒制而成；具體如下：

（1）以三異丙醇氧釩為溶質，異丙醇為溶劑配制前驅液；

（2）把所得前驅液涂于藍寶石襯底，制得前驅物薄膜；

（3）把所得前驅物薄膜置于真空爐中燒結，保溫0.5~20小時，即得到二氧化釩薄膜，其中，燒結溫度控制在400℃~600℃，燒結環境真空度控制在3 Pa~15 Pa。

2.根據權利要求1所述的一種高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法，其特征在于：步驟（3）中所述的保溫時間優化范圍在4h~10h。

3.根據權利要求1所述的一種高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法，其特征在于：步驟（3）中所述的燒結溫度優化范圍在430℃~590℃。

4.根據權利要求1所述的一種高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法，其特征在于：步驟（3）中所述的燒結環境真空度優化范圍在4Pa~8Pa。

5.根據權利要求1所述的一種高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法，其特征在于：在步驟（2）制得前驅物薄膜后，對其進行烘干處理。

6.根據權利要求5所述的一種高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法，其特征在于：所述的烘干處理，其烘干溫度不超過300℃，烘干時間不超過15分鐘。

7.根據權利要求1所述的一種高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法，其特征在于：在步驟（1）制備前驅液時，加入冰醋酸作為穩定劑，冰醋酸與三異丙醇氧釩的質量比為1:1~6:1。

8.根據權利要求1所述的一種高取向二氧化釩薄膜的液相制備方法，其特征在于：在步驟（1）制備的前驅液中，三異丙醇氧釩與異丙醇的質量體積比g:ml為1-15:100。