[發明專利]金屬膜光學檢測裝置和檢測方法

有效

• 申請號: 201410321113.1
• 申請日: 2014-07-07
• 公開（公告）號: CN104089582B
• 公開（公告）日: 2017-03-15
• 發明（設計）人: 柴立;張正義;陳一翔
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01N21/84
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司11372
• 代理人: 吳大建,劉華聯

1.一種金屬膜光學檢測裝置，包括承載器，在所述承載器的第一位置設置有斜朝向金屬膜和基板發射入射光束的光源，在所述承載器的第二位置設置有接受來自所述金屬膜或基板的反射光束的光敏感應器，處理來自所述光敏感應器的光信號的分析單元，

其中，所述分析單元根據所述入射光束與承載器之間的夾角、對應于金屬膜的第一反射光斑與光源之間的第一長度、對應于基板的第二反射光斑與光源之間的第二長度而得到所述金屬膜的厚度。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述夾角包括第一夾角和第二夾角，

所述光源以第一夾角向所述金屬膜發出入射光束，所述光敏感應器接受反射光束，所述分析單元計算出第一長度，并根據第一長度和第一夾角得到所述金屬膜與所述承載器之間的第一距離；

所述光源以第二夾角向所述基板發出入射光束，所述光敏感應器接受反射光束，所述分析單元計算出第二長度，并根據第二長度和第二夾角得到基板與所述承載器之間的第二距離；

所述金屬膜的厚度為第二距離與第一距離之間的差值。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述分析單元包括亮度檢測模塊，所述亮度檢測模塊根據所述第一反射光斑內的暗點的數量得到所述金屬膜的表面內的凸起的數量。

4.根據權利要求2或3所述的裝置，其特征在于，所述承載器能沿平行于所述金屬膜的方向移動。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述第一夾角與所述第二夾角相等。

6.根據權利要求2或3所述的裝置，其特征在于，所述光敏感應器為由多個光敏感應點組成的面區域。

7.根據權利要求1到3中任一項所述的裝置，其特征在于，所述光源為激光源。

8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述入射光束的橫截面積在25μm²到2500μm²之間。

9.一種使用根據權利要求1到8中任一項所述的金屬膜光學檢測裝置檢測金屬膜的方法，所述方法包括，

步驟一：將所述承載器平行地設置在所述金屬膜的上方，并且使光源和光敏感應器朝向所述金屬膜；

步驟二：所述光源以所述夾角向所述金屬膜發出入射光束，所述光敏感應器接受反射光束，所述分析單元計算出第一長度，并根據第一長度和夾角得到所述金屬膜與所述承載器之間的第一距離；

步驟三：所述光源以所述夾角向所述基板發出入射光束，所述光敏感應器接受反射光束，所述分析單元計算出第二長度，并根據第二長度和夾角得到所述基板與所述承載器之間的第二距離；

步驟四：計算所述第二距離和第一距離之間的差值，所述差值為所述金屬膜的厚度。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，在所述步驟三中，移動所述承載器，以使得所述光源以所述夾角向所述基板發出入射光束。

11.根據權利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述夾角包括第一夾角和第二夾角，所述第一夾角與第二夾角不相等，

在所述步驟二中，所述夾角為第一夾角；

在所述步驟三中，所述夾角為第二夾角。

12.根據權利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述分析單元包括亮度檢測模塊，所述亮度檢測模塊根據所述第一反射光斑內的暗點的數量得到所述金屬膜的表面內的凸起的數量。