[發明專利]濺射靶、其制造方法、用其生產有機發光顯示設備的方法

無效

• 申請號: 201410320061.6
• 申請日: 2014-07-07
• 公開（公告）號: CN104278240A
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 申尚煜;李壹相;丁善英;金東鎮;樸鎮宇
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;H01L51/56
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 康泉;王珍仙

本申請要求于2013年7月12日提交的韓國專利申請第10-2013-0082438號的優先權，和由其產生的所有益處，其全部內容通過引用并入本文。

技術領域

本發明的一個或多個實施方式涉及制造濺射靶的方法、使用該方法的濺射靶以及使用該濺射靶生產有機發光顯示設備的方法。

背景技術

有機發光顯示設備為自發光顯示裝置，其有利于具有極好的亮度、驅動電壓和響應速度特性，并且有利于能夠實現多種色彩以及具有廣視角、極好的對比度和迅速的響應時間。

有機發光顯示設備可包括有機發光二極管(“OLED”)。OLED會容易受水分和氧氣損壞。鑒于該原因，有機發光顯示設備包括密封結構用于密封OLED隔開水分和氧。密封結構可由薄膜封裝形成。薄膜封裝可由無機材料形成，并且可使用濺射法將該無機材料沉積在基板上。在使用濺射法的情況下，濺射靶變為負極，而待沉積的基板變為正極。也就是說，濺射靶具有比基板更多的負電荷，因此，帶正電荷的材料可朝向靶加速并與靶碰撞以射出靶的原子。當形成薄膜封裝的材料是絕緣無機材料時，濺射靶也需要由絕緣無機材料形成，然而這樣的靶具有過大的電阻，換句話說，具有小的電導率，因此靶可能無法保持比基板的電荷更多負電荷。在這樣的情形下，使用濺射法沉積絕緣無機材料會很困難。

發明內容

本發明的一個或多個實施方式包括制造濺射靶的方法、使用所述方法制造的濺射靶以及使用所述濺射靶生產有機發光顯示設備的方法，其中所述方法能夠使用濺射技術沉積絕緣無機材料。

其他實施方式將在下面的說明中部分列出，并且在一定程度上將通過該說明而明白易懂，或者可通過實施本實施方式來了解。

根據一個或多個實施方式，制造濺射靶的方法包括制備第一粉末材料，所述第一粉末材料包含氧化錫和網目形成氧化物(mesh-forming?oxide)中的至少一種；混合所述第一粉末材料和第二粉末材料以制備混合物，其中所述第二粉末材料包括碳或氧化錫(SnO)；于還原氣氛中在所述混合物上同時進行初次壓縮和初次燒結；并且于所述還原氣氛中在所述混合物上同時進行二次壓縮和二次燒結以制備所述濺射靶。

所述第一粉末材料的制備可進一步包括在無水環境中通過混合第一原料和第二原料而制備原料混合物，其中所述第一原料包括氧化錫或網目形成氧化物，并且所述第二原料包括氧化磷、磷酸硼、氟化錫、氧化鈮、氟化鉛、氧化硅、氧化鎢、氧化銦、氧化鉍、氧化鋅和氧化硼中的至少一種；在真空中熔化所述原料混合物以制備熔體；固化所述熔體；以及粉碎所述熔體以制備所述第一粉末材料。

所述碳可包括碳納米管、導電炭黑粉末、導電碳纖維、石墨和石墨烯中的至少一種。

所述混合物可包含50wt％至99.9wt％的第一粉末材料和0.1wt％至50wt％的第二粉末材料。

所述還原氣氛可通過使碳薄片與所述混合物接觸而形成，其中所述碳薄片與所述混合物之間的接觸在所述混合物的上部或下部發生。

所述還原氣氛可在包含所述混合物的容器中形成，其中所述容器進一步包含碳。

所述初次燒結和所述二次燒結可在使用高頻感應加熱技術加熱所述容器時進行。

所述初次壓縮和所述二次壓縮可通過使用由金屬材料形成的平板在所述容器中壓制所述混合物而進行。

所述初次壓縮可在約150kgf/cm²至約350kgf/cm²的壓力下進行，并且所述初次燒結可在約100℃至約550℃范圍內的溫度下進行。

所述二次壓縮可在約150kgf/cm²至約350kgf/cm²的壓力下進行，并且所述二次燒結可在約150℃至約450℃范圍內的溫度下進行。

所述濺射靶可包含在所述第一粉末材料的表面上形成的錫金屬層。

根據一個或多個實施方式，通過這樣的方法制造濺射靶，其中所述方法包括制備第一粉末材料，所述第一粉末材料包含氧化錫和網目形成氧化物中的至少一種；混合所述第一粉末材料和第二粉末材料以制備混合物，其中所述第二粉末材料包括碳或SnO；于還原氣氛中在所述混合物上同時進行初次壓縮和初次燒結；并且于所述還原氣氛中在所述混合物上同時進行二次壓縮和二次燒結以制備所述濺射靶，其中所述濺射靶包含所述第一粉末材料，且在所述第一粉末材料的表面上形成錫金屬層。

所述濺射靶可進一步包含氧化磷、磷酸硼、氟化錫、氧化鈮、氟化鉛、氧化硅、氧化鎢、氧化銦、氧化鉍、氧化鋅和氧化硼中的至少一種。

所述碳可包括碳納米管、導電炭黑粉末、導電碳纖維、石墨和石墨烯中的至少一種。