[發明專利]半導體靜電吸附裝置

在審

• 申請號: 201410317745.0
• 申請日: 2014-07-03
• 公開（公告）號: CN104084309A
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 王健
• 申請（專利權）人: 王健
• 主分類號: B03C3/04
• 分類號: B03C3/04;B03C3/45
• 代理公司: 佛山市粵順知識產權代理事務所 44264
• 代理人: 唐強熙

技術領域

本發明涉及一種半導體靜電吸附裝置。

背景技術

在現有技術中，為了去除空氣中的微小灰塵顆粒，技術人員往往使用靜電除塵技術來實現，即使空氣通過接通負高壓的極板，使空氣中攜帶的灰塵攜帶負電荷，然后經過接通正電壓的極板，使灰塵被吸附在正極板上。但是，仍然存在正極板對微小灰塵顆粒吸附不徹底以及效率低的問題，同時正負極板間隙小，容易引起灰塵聚積引起正負極板間短路問題，而且結構復雜，生產成本高，制造難度大，安全系數小。因此，有必要進一步改進。

發明內容

本發明的目的旨在提供一種結構簡單合理，性能可靠，制造成本低，易生產，易實現且吸附能強的半導體靜電吸附裝置，以克服現有技術中的不足之處。

按此目的設計的一種半導體靜電吸附裝置，包括吸附模塊，其特征在于：吸附模塊接通正負電極，并形成有電場吸附區，吸附模塊的進風側設置有放電針，放電針接通正負電極，并形成電場極化區，空氣中的吸附物經過放電針的電場極化區后帶上電荷，并隨著氣流進入吸附模塊的電場吸附區后吸附。

所述吸附模塊包括若干的直線排列的吸附片，相鄰的兩塊吸附片分別接通正負電極，并形成電場吸附區。

所述吸附片為具有韌性的絕緣塑料制成，并在內部設置有半導體石墨電極；相鄰的兩塊吸附片分別通過半導體石墨電極接通正負電極，其中，接通正電極的吸附片設置有凸部、且通過凸部與接通負電極的吸附片接觸。

所述相鄰的兩塊吸附片之間形成有空氣通道，空氣通道上形成有尖端。

所述空氣通道的寬度d為1毫米以上。

所述接通半導體石墨電極的正負電極電壓為DC5000V以上。

本發明通過上述結構的改良，在吸附模塊的進風側設置有放電針，放電針接通正負電極，并形成電場極化區，放電針對空氣放電，使空氣中的微小顆粒物通過電場極化區后瞬間帶上電荷，再隨著氣流進入吸附模塊的電場吸附區后吸附，大大地提高了吸附裝置吸附效率的同時，設置有包裹半導體石墨電極的絕緣塑料吸附片,通過吸附片的尖端靠攏,產生均勻的電磁場，電磁場吸附面積通過尖端微電流的作用，不但讓電磁場產生的更均勻，而且大大地增加了吸附面積，并且吸附模塊輸入的直流高壓遠遠小過現有技術的高壓，不但節能環保，在電場均勻度同等的情況下還能增大吸附面積，所以能夠達到更好的吸附效果，另外本裝置完全無臭氧產生,只是單純的吸附顆粒物,而且可以多次循環使用。其具有結構簡單合理，性能可靠，制造成本低，易生產，易實現且吸附能強等特點，實用性強。

附圖說明

圖1為本發明一實施例結構示意圖。

圖2為本發明一實施例工作原理結構示意圖。

圖3為本發明一實施例的應用例結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本發明作進一步描述。

參見圖1-圖3，本半導體靜電吸附裝置，包括吸附模塊1，吸附模塊1接通正負電極，并形成有電場吸附區2，吸附模塊1的進風側設置有放電針3，放電針3接通正負電極，并形成電場極化區4，空氣中的吸附物經過放電針3的電場極化區4后帶上電荷，并隨著氣流流動方向A進入吸附模塊1的電場吸附區2后吸附。

具體地講，吸附模塊1包括若干的直線排列的吸附片，相鄰的兩塊吸附片分別接通正負電極，并形成電場吸附區2。所述吸附片為具有韌性的絕緣塑料制成，并在內部設置有半導體石墨電極7，相鄰的兩塊吸附片分別通過半導體石墨電極7接通正負電極，其中，接通正電極的吸附片8設置有凸部8.1、且通過凸部8.1與接通負電極的吸附片9接觸而不直接連接在一起。

相鄰的兩塊吸附片之間形成有空氣通道5，空氣通道5上形成有尖端6。空氣通道5的寬度d為1毫米以上。接通半導體石墨電極7的正負電極電壓為DC5000V以上，本實施例優選10000伏左右。

其工作原理是：

空氣經過放電針3，放電針3的針尖、針尾放電后形成電場極化區4，使空氣中的飄塵、污染物、小分子顆粒物被迅速極化，極化后的飄塵、污染物、小分子顆粒物再隨著氣流流動方向A進入吸附模塊1的電場吸附區2，正負高電壓通過增加有半導添加劑的吸附片時,通過尖端6靠攏,會產生均勻的電磁場,將從空氣通道5中通過的、且被極化的飄塵、污染物、小分子顆粒吸附在吸附片上,達到去除空氣中顆粒的目的。除塵率在百分之九十以上，同時還可有效去除0.01微米以上的飄塵。本結構的靜電吸附裝置同時兼有去除異味的功能，空氣中的異味主要是通過飄塵、氣溶膠等空氣中的介質傳播的，不管是何種介質，只要進入電場極化區4，均被靜電場極化、吸集，可有效清除空氣中的異味。