[發明專利]一種半導體指紋識別傳感器及其制造方法

在審

• 申請號: 201410317703.7
• 申請日: 2014-07-04
• 公開（公告）號: CN104102902A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 逯家寧
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G06K9/00
• 分類號: G06K9/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 李相雨

1.一種半導體指紋識別傳感器，其特征在于，包括感應區域、控制區域和接口區域；

所述感應區域、所述控制區域和所述接口區域通信連接；

所述感應區域感應的指紋信息發送至所述控制區域，所述控制區域處理后通過所述接口區域輸出；

所述感應區域包括依序固定的絕緣層、走線層、基板層和保護層，所述走線層嵌入所述絕緣層與基板層之間，在所述基板層上與所述保護層接觸的一面設置有傳感器陣列，在所述基板層上設置有與所述傳感器陣列對應的過孔，所述傳感器陣列通過所述過孔與所述走線層的傳感引線電路電連接。

2.如權利要求1所述的半導體指紋識別傳感器，其特征在于，所述絕緣層和基板層采用柔性絕緣材料制成。

3.如權利要求1所述的半導體指紋識別傳感器，其特征在于，所述傳感器陣列由高導電率材料制成。

4.如權利要求1所述的半導體指紋識別傳感器，其特征在于，所述保護層采用高介電常數高硬度材料制成。

5.如權利要求1所述的半導體指紋識別傳感器，其特征在于，所述控制區域包括依序固定的絕緣層、走線層和基板層，所述走線層嵌入所述絕緣層與基板層之間；

在所述基板層上遠離絕緣層的一面設置有若干個焊點，若干個焊點組成焊盤，在所述基板層上設置有與焊點對應的焊盤過孔，所述焊點通過所述焊盤過孔與所述走線層的傳感引線電路電連接。

6.如權利要求1所述的半導體指紋識別傳感器，其特征在于，所述控制區域焊接有指紋識別傳感集成電路。

7.如權利要求1所述的半導體指紋識別傳感器，其特征在于，所述接口區域包括依序固定的絕緣層、走線層和基板層，所述走線層嵌入所述絕緣層與基板層之間，在所述基板層上遠離絕緣層的一面設置有若干個接口觸片，在所述基板層上設置有與接口觸片對應的接口過孔，接口觸片通過所述接口過孔與所述走線層的傳感引線電路電連接。

8.如權利要求1-7任意一項所述的半導體指紋識別傳感器，其特征在于，所述半導體指紋識別傳感器還設置有靜電防護環，所述靜電防護環環繞所述感應區域。

9.如權利要求8所述的半導體指紋識別傳感器，其特征在于，所述靜電防護環上設計有缺口。

10.一種制造半導體指紋識別傳感器的方法，其特征在于，在柔性基板上制作半導體感應區域、控制區域和接口區域，具體包括下列步驟：

按尺寸裁切柔性基板；

在裁切好的柔性基板上鉆通孔，在基板表面金屬化處理使基板表面形成金屬層，使通孔金屬化形成過孔；

在金屬層上壓感光膜層，通過紫外線曝光、顯影液顯影和刻蝕液刻蝕及剝離后在形成走線層的傳感引線電路；

在傳感引線電路上涂覆絕緣層；

在基板遠離走線層的表面清洗后電鍍傳感器陣列、集成電路焊盤和接口觸片分別形成感應區域、控制區域和接口區域；

在柔性基板上表面沉積高硬度耐磨材料形成保護層。