[發(fā)明專利]納米探針半成品加工裝置及納米探針制作方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410315008.7 | 申請日： | 2014-07-03 |
| 公開（公告）號： | CN104155480B | 公開（公告）日： | 2017-02-15 |
| 發(fā)明（設計）人： | 邢珍相;李曉旻 | 申請（專利權）人： | 勝科納米（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | G01Q70/16 | 分類號： | G01Q70/16 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 納米 探針 半成品 加工 裝置 制作方法 | ||
1.一種納米探針半成品加工裝置，其特征在于，包括：恒溫槽、及設置于所述恒溫槽上方的導熱金屬板；其中，所述導熱金屬板上設置有固定納米探針半成品的固定元件；所述恒溫槽中裝有化學腐蝕液。
2.如權利要求1所述的納米探針半成品加工裝置，其特征在于，所述化學腐蝕液為KOH溶液。
3.如權利要求1所述的納米探針半成品加工裝置，其特征在于，所述固定元件的數(shù)量為至少一個。
4.一種納米探針制作方法，其特征在于，包括：
提供如權利要求1-3中任一項所述的納米探針半成品加工裝置及納米探針半成品；
將納米探針半成品的一端固定在導熱金屬板上，另一端浸泡入化學腐蝕液中；
調(diào)整納米探針半成品浸泡入化學腐蝕液中的浸泡深度；
調(diào)控化學腐蝕液的溫度及導熱金屬板的溫度，使導熱金屬板的溫度高于化學腐蝕液一預定溫度；
調(diào)控所述預定溫度，直至納米探針半成品的針尖細度滿足實際應用的要求。
5.如權利要求4所述的納米探針制作方法，其特征在于，所述預定溫度為10℃～80℃。
6.如權利要求4所述的納米探針制作方法，其特征在于，所述納米探針半成品包括針桿及與針桿相連的針尖；其中，所述針桿固定在所述導熱金屬板上，所述針尖浸泡入所述化學腐蝕液中。
7.如權利要求6所述的納米探針制作方法，其特征在于，所述針尖浸泡入所述化學腐蝕液的液面下10mm。
8.如權利要求6所述的納米探針制作方法，其特征在于，當所述納米探針半成品的數(shù)量大于等于兩個時，調(diào)整納米探針半成品，使其針尖與導熱金屬板之間的距離保持一致。
9.如權利要求8所述的納米探針制作方法，其特征在于，所述化學腐蝕液的溫度為5℃～50℃。
10.如權利要求8所述的納米探針制作方法，其特征在于，所述化學腐蝕液為KOH溶液。
11.如權利要求10所述的納米探針制作方法，其特征在于，所述KOH溶液的百分比濃度為50％。
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