[發(fā)明專利]用于磁傳感器裝置或磁致動器的微技術構件及其制造方法

有效

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• 申請日: 2014-07-02
• 公開（公告）號: CN104280697B
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發(fā)明（設計）人: M·施賴特爾;A·丹嫩貝格
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01R33/02
• 分類號: G01R33/02;B81C3/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

本發(fā)明涉及一種用于磁傳感器裝置或磁致動器的微技術構件，所述微技術構件具有：至少一個沿著軸線(10)定向的磁芯(12)；至少一個第一驅動線圈(14)，其具有在繞所述至少一個磁芯(12)的第一旋轉方向上延伸的繞阻；和至少一個觸點(18a，18b)，通過所述觸點能夠借助于所述驅動器裝置(20)引起在穿過所述至少一個第一驅動線圈(14)的第一電流方向上的第一電流，其中，所述微技術構件還包括：至少一個第二驅動線圈(16)，其具有在繞所述至少一個磁芯(12)的第二旋轉方向上延伸的繞阻，其中，所述第一旋轉方向和所述第二旋轉方向是不同的，并且其中，通過所述至少一個觸點(18a，18b)能夠與所述第一電流同時引起在穿過所述至少一個第二驅動線圈(16)的與所述第一電流方向相反指向的第二電流方向上的第二電流。同樣地，本發(fā)明涉及一種用于微技術構件的制造方法。

技術領域

本發(fā)明涉及一種用于磁傳感器裝置或磁致動器的微技術構件。同樣地，本發(fā)明涉及一種磁傳感器裝置和一種磁致動器。此外，本發(fā)明涉及一種用于磁傳感器裝置或磁致動器的微技術構件的制造方法、一種用于磁傳感器裝置的制造方法和一種用于磁致動器的制造方法。

背景技術

公開一種磁場傳感器FlipCore，該磁場傳感器FlipCore例如能夠用于數字羅盤。FlipCore是磁通門磁力儀(或弗爾斯特探測器)并且具有驅動線圈和探測器線圈，所述驅動線圈和所述探測器線圈繞磁芯引導。通過給驅動線圈通電能夠在磁芯中引起磁場。由于在磁芯中引起的磁場與另外的磁場(例如地磁場)的疊加能夠出現磁芯的自發(fā)的交變磁化。借助于在探測器線圈中感應出的電壓應該能夠探測磁芯的自發(fā)的交變磁化。接著應該能夠通過評估磁芯的自發(fā)的交變磁化的時間點來確定另外的磁場的磁場強度。

此外，在DE102008042800A1中描述一種用于測量磁場方向和/或強度的裝置，該裝置包括三個傳感器裝置，所述傳感器裝置分別被設計用于檢測磁場在空間方向上的分量。傳感器裝置中的兩個是磁通門磁力儀。

本發(fā)明實現一種具有根據權利要求1的特征的用于磁傳感器裝置或磁致動器的微技術構件、一種具有根據權利要求8的特征的磁傳感器裝置、一種具有根據權利要求9的特征的磁致動器、一種具有根據權利要求10的特征的用于磁傳感器裝置或磁致動器的微技術構件的制造方法、一種具有根據權利要求14的特征的用于磁傳感器裝置的制造方法和一種具有根據權利要求15的特征的用于磁致動器的制造方法。

發(fā)明中容

本發(fā)明能夠在電壓相同的情況下實現在至少一個磁芯中引起的磁場的較高的磁場強度。因此，微技術構件在磁傳感器裝置中的應用能夠在驅動線圈的運行電壓相同的情況下實現相對于(只具有單線圈的)傳統的弗爾斯特探測器較高的測量范圍。相應地，裝備有微技術構件的磁致動器也能夠在驅動線圈的運行電壓相同的情況下施加較強的作用。由此，本發(fā)明為磁傳感器裝置和磁致動器的重要改進作貢獻。

指出了，本發(fā)明能夠實現改進磁傳感器裝置和磁致動器，而不需要減少至少一個第一驅動線圈的印制導線電阻。換言之，能夠通過至少一個第一驅動線圈和至少一個第二驅動線圈在至少一個磁芯上根據本發(fā)明地構造/構型總電阻(磁傳感器裝置或磁致動器的驅動器裝置克服所述總電阻工作)相對于具有與至少一個第一驅動線圈和至少一個第二驅動線圈的匝數總和相同的匝數的唯一一個驅動線圈有效減小。因為所述優(yōu)點能夠在沒有減少印制導線電阻的情況下實現，能夠使用成本低廉并且簡單加工的材料用于構成至少一個第一驅動線圈和至少一個第二驅動線圈。由此，本發(fā)明也為用于磁傳感器裝置或用于磁致動器的微技術構件的較簡單的可制造性作貢獻。此外，本發(fā)明允許磁傳感器裝置或磁致動器裝備有相對成本低廉的微技術構件。

此外，通過在運行電壓相同的情況下增大的測量范圍或通過在運行電壓相同的情況下磁致動器的改進的作用，磁傳感器裝置或磁致動器裝備有相對成本低廉和/或需要結構空間小的驅動器裝置已經足夠。