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[發(fā)明專利]一種用于大面積LCD屏的ITO加熱片的制作方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201410306469.8 申請日: 2014-06-30
公開(公告)號: CN104090392B 公開(公告)日: 2017-04-05
發(fā)明(設(shè)計)人: 胡俊濤;余承東;宗艷鳳;程群;梅文娟;鄧亞飛;楊勁松;呂國強(qiáng) 申請(專利權(quán))人: 合肥工業(yè)大學(xué)
主分類號: G02F1/13 分類號: G02F1/13
代理公司: 安徽合肥華信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司34112 代理人: 余成俊
地址: 230009 安徽省合肥市包河*** 國省代碼: 安徽;34
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 用于 大面積 lcd ito 加熱 制作方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種用于大面積LCD屏的ITO加熱片的制作方法,其特征在于,采用分區(qū)加熱的方式來設(shè)計,將整個ITO基片采用刻蝕的方法按一定的面積比例進(jìn)行分區(qū),具體包括有以下步驟:

(1)清洗:首先對ITO基片進(jìn)行清洗,在含4%的KOH的乙醇溶液中清洗,然后再用95%的乙醇清洗,最后用二次水沖洗,沖洗完畢后置于空氣中自然干燥;

(2)涂光刻膠:將ITO基片上均勻涂有一層光刻膠后,放入烘箱中于90-100℃中烘烤25-30min;

(3)曝光:曝光機(jī)發(fā)出的光透過掩膜板照射到光刻膠上,發(fā)生光化學(xué)反應(yīng);在曝光區(qū)域光刻膠發(fā)生降解,產(chǎn)物會溶于顯影液,未被曝光的不溶于顯影液;

(4)顯影:利用顯影液處理曝光后的光刻膠,在其上開出窗口得到圖案;

(5)ITO的刻蝕:將顯影后的ITO基片放入王水溶液中進(jìn)行刻蝕,王水溶液中HNO3:HCl:H2O=1:13:13,wt%;

(6)電極制備:首先將導(dǎo)電銀漿均勻的涂覆在留出的電極部分,將這一層作為襯底;然后放入烘箱中烘干,再均勻涂覆一層粘附性更高的導(dǎo)電銀漿,最后在導(dǎo)電銀漿上黏貼一條金屬銅片,用焊錫引出一條導(dǎo)線;

(7)封膠:將電極部分用金屬絲網(wǎng)均勻刷一層環(huán)氧樹脂固化膠?,在室溫下自然固化8小時。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于大面積LCD屏的ITO加熱片的制作方法,其特征在于,所述的光刻膠采用RZJ-304光刻膠。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于大面積LCD屏的ITO加熱片的制作方法,其特征在于,所述的ITO基片的尺寸9英寸×24英寸,進(jìn)行分區(qū)的面積比例為6:4:4:4:6。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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