[發明專利]一種高效緊湊矩形環諧振腔波導型光濾波器

有效

• 申請號: 201410304912.8
• 申請日: 2014-06-30
• 公開（公告）號: CN104090331B
• 公開（公告）日: 2017-01-11
• 發明（設計）人: 王爽;劉克;張成龍
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122;G02B6/293
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司11203
• 代理人: 紀佳

1.一種高效緊湊矩形環諧振腔波導型光濾波器，其特征在于：由單模光波導構成封閉的長矩形，兩條相互平行的直條單模光波導垂直穿過矩形波導兩條長邊，分別與矩形波導交叉；矩形波導端部在十字交匯處之間部分為相移臂(4)；兩條直條波導中間被矩形波導分割的部分為參考臂(5)，矩形長邊被兩條平行波導分割的部分為連接波導(6)；任一直條波導端部與十字交匯處之間的部分為輸入波導(1)，與其在同一直條波導的另一端與相鄰十字交匯處之間的部分為輸出波導Ⅰ(8)，與輸入波導相鄰的另一條直波導端部與相鄰十字交匯處之間的部分為輸出波導Ⅱ(9)；輸出波導Ⅱ(9)所在的直條波導另一端與相鄰十字交匯處之間部分為復用波導(10)。在矩形波導直角外側，沿波導傳播方向成45°角方向刻蝕切面，構成全反射鏡(7)；矩形波導與直條波導交叉處，分別沿相鄰的全反射鏡(7)平行方向刻蝕微納溝槽(2)。

2.根據權利要求(1)所述的一種高效緊湊矩形環諧振腔波導型光濾波器，其特征在于：溝槽(2)內填充溝槽介質材料(3)，所述溝槽介質材料(3)包括空氣、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、SU‐8聚合物、三氧化二鋁、二氧化鋯；所述溝槽與各波導角度大于波導材料與溝槽填充材料所構成的介質界面的全反射角。

3.根據權利要求1所述的一種高效緊湊矩形環諧振腔波導型光濾波器，其特征在于：所述波導輸入端為輸入波導(1)的耦合端面(1a)；輸出端分別為輸出波導Ⅰ(8)的耦合端面(8a)和輸出波導Ⅱ(9)的耦合端面(9a)；輸入波導、輸出波導Ⅰ(8)、輸出波導Ⅱ(9)、復用波導(10)完全等價，可以分別作為輸入輸出端口，實現交叉復用。

4.根據權利要求1、2、3所述的高效緊湊矩形環諧振腔波導型光濾波器，其特征在于：制作在硅或絕緣體上硅(Silicon?on?insulator，SOI)或GeSi/Si或GaAs或GaAs/AlGaAs以及InP/InGaAsP半導體襯底材料的一種基底材料上。