[發明專利]準分子紫外輻射與等離子體耦合一體化降解廢氣的裝置

有效

• 申請號: 201410302998.0
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN104014233A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 葉招蓮;趙潔;汪斌;戴亮;蔣一飛
• 申請（專利權）人: 江蘇技術師范學院
• 主分類號: B01D53/76
• 分類號: B01D53/76
• 代理公司: 常州市江海陽光知識產權代理有限公司 32214
• 代理人: 孫培英

1.一種準分子紫外輻射與等離子體耦合一體化降解廢氣的裝置，其特征在于：包括集氣罩（1）、氣體分配器、反應器（5）和引風機；集氣罩（1）包括第一集氣罩（11）和第二集氣罩（12）；氣體分配器包括第一氣體分配器（3）和第二氣體分配器（4）；第一集氣罩（11）、第一氣體分配器（3）、反應器（5）、第二氣體分配器（4）和第二集氣罩（12）由下向上依次設置；

第一集氣罩（11）的進氣口與待降解氣體的廢氣發生器出氣口或者儲氣罐相連，第一集氣罩（11）的的出氣口與第一氣體分配器（3）的進氣口相連；反應器（5）設置在第一氣體分配器（3）和第二氣體分配器（4）之間；第二集氣罩（12）安裝固定在第二氣體分配器（4）上方，第二集氣罩（12）的進氣口與第二氣體分配器（4）的所有出氣口相連通；引風機的進氣端口與第二集氣罩（12）的出氣口相連；

所述反應器（5）包括四層石英介質層、內電極（61）、外電極（62）和高壓電源（63）；所述四層石英介質層包括同軸線的、由內向外依次設置的第一石英管（51）、第二石英管（52）、第三石英管（53）和第四石英管（54）；內電極（61）設置在第一石英管（51）內，外電極（62）設置在第三石英管（53）外側面；

第一石英管（51）與第二石英管（52）之間的空間為A區反應區；第三石英管（53）的上、下兩端端口燒結在第二石英管（52）的外側面，從而第二石英管（52）與第三石英管（53）之間形成密閉的環形空腔，該密閉的環形空腔為氣體填充B區，氣體填充B區內充有稀有氣體或者稀有氣體-鹵素混合氣體或者汞-鹵素混合氣體；第四石英管（54）與第三石英管（53）之間的空間為C區反應區；

第一氣體分配器（3）設有A區進氣通孔（36）和C區進氣通孔（38），第二氣體分配器（4）設有A區出氣通孔（42）和C區出氣通孔（43）；第一氣體分配器（3）的A區進氣通孔（36）與A區反應區和第二氣體分配器（4）的A區出氣通孔（42）相連通，第一氣體分配器（3）的C區進氣通孔（38）與C區反應區和第二氣體分配器（4）的C區出氣通孔（43）相連通。

2.根據權利要求1所述的準分子紫外輻射與等離子體耦合一體化降解廢氣的裝置，其特征在于：第一氣體分配器（3）還包括空氣通道（37）；空氣通道（37）的進氣端與空氣管（37-2）相連，空氣管（37-2）上設有閥門（37-3）；空氣通道（37）的出氣口與C區反應區相連通。

3.根據權利要求2所述的準分子紫外輻射與等離子體耦合一體化降解廢氣的裝置，其特征在于：第一氣體分配器（3）的C區進氣通孔（38）的出口上方和空氣通道（37）的出氣口上方還設有多孔篩板（7）；

所述多孔篩板（7）為環形，多孔篩板（7）的圓周方向設置一圈通氣孔（71），多孔篩板（7）的通氣孔（71）設置在反應器（5）的C區反應區下方；第一氣體分配器（3）的C區進氣通孔（38）通過多孔篩板（7）的通氣孔（71）與反應器（5）的C區反應區相連通；空氣通道（37）的出氣口通過多孔篩板（7）的通氣孔（71）與反應器（5）的C區反應區相連通。

4.根據權利要求3所述的準分子紫外輻射與等離子體耦合一體化降解廢氣的裝置，其特征在于：第一氣體分配器（3）的進氣口下方還設有旋風分離裝置（2）；第一集氣罩（11）的的出氣口與旋風分離裝置（2）的進氣口相連，旋風分離裝置（2）的出氣端口與第一氣體分配器（3）的進氣口相連通。

5.根據權利要求1至4之一所述的準分子紫外輻射與等離子體耦合一體化降解廢氣的裝置，其特征在于：第一石英管（51）的內壁緊貼一層卷制的金屬片作為內電極（61），或者第一石英管（51）的內部填滿金屬粉末作為內電極（61）；

第三石英管（53）的外側面上纏繞片狀金屬作為外電極（62），或者第三石英管（53）的外側面上包裹金屬網作為外電極（62）；

所述高壓電源（63）為中頻脈沖方波電源，放電電壓在0kV～15kV范圍內可調。