[發明專利]位置檢測裝置、基板制造裝置、位置檢測方法及基板的制造方法

有效

• 申請號: 201410302738.3
• 申請日: 2014-06-27
• 公開（公告）號: CN104249547B
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發明（設計）人: 渡邊昭彥
• 申請（專利權）人: 重機自動化系統有限公司
• 主分類號: B41F15/26
• 分類號: B41F15/26;B41F33/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張天舒

本發明提供一種能夠根據拍攝部所拍攝的圖像中的對準標記的位置，更準確地計算實際的對準標記的位置的技術。位置檢測裝置具有拍攝部、存儲部、控制部。上述拍攝部能夠在與基準面相對的狀態下沿所述基準面移動，對位于所述基準面上的對準標記進行拍攝。在上述存儲部中，記錄有換算信息，該換算信息構成為，與所述拍攝部的位置相對應而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率。上述控制部使用在所述存儲部中記錄的所述換算信息，根據所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準標記的位置，對所述基準面中的所述對準標記的位置進行計算。

技術領域

本技術涉及一種使用可移動的拍攝部準確地檢測對準標記的位置的技術。

背景技術

當前，向基板上印刷膏狀焊料的絲網印刷裝置被廣泛所知(例如，參照專利文獻1)。

在絲網印刷裝置中，使用設置有圖案孔的絲網，在絲網的上側配置刮板，在絲網的下側配置基板。這種絲網印刷裝置構成為，如果在供給有膏狀焊料的絲網上使刮板滑動，則膏狀焊料經由圖案孔被印刷在基板上。

已知一種絲網印刷裝置，其使用由照相機拍攝絲網以及基板的對準標記而得到的圖像，對絲網和基板的相對位置進行調整，以將膏狀焊料向基板的準確位置上印刷。

專利文獻1：日本特開2013－095051號公報

在利用照相機對絲網以及基板的對準標記進行拍攝的絲網印刷裝置中，根據照相機所拍攝的圖像中的對準標記的位置，對實際的絲網及基板上的對準標記的位置進行計算。因此，在這種絲網印刷裝置中，照相機所拍攝的圖像的倍率的設定值有誤差的情況下，絲網和基板的相對位置的調整也產生誤差。

發明內容

鑒于上述情況，本技術的目的在于，提供一種能夠根據拍攝部所拍攝的圖像中的對準標記的位置，更準確地計算實際的對準標記的位置的技術。

為了實現上述目的，本技術的一個方式所涉及的位置檢測裝置具有拍攝部、存儲部、控制部。

上述拍攝部能夠在與基準面相對的狀態下沿所述基準面移動，對位于所述基準面上的對準標記進行拍攝。

在上述存儲部中，記錄有換算信息，該換算信息構成為，與所述拍攝部的位置相對應而確定由所述拍攝部拍攝的圖像的倍率。

上述控制部使用在所述存儲部中記錄的所述換算信息，根據所述拍攝部的位置以及所述圖像中的所述對準標記的位置，對所述基準面中的所述對準標記的位置進行計算。

根據該結構，上述位置檢測裝置能夠使用與拍攝部的位置對應的倍率，根據拍攝部所拍攝的圖像中的對準標記的位置，計算基準面中的對準標記的位置。因此，由于抑制由拍攝部的位置引起的圖像的倍率誤差，所以上述位置檢測裝置能夠更準確地檢測出對準標記的位置。

上述換算信息也可以包含由所述拍攝部在多個位置處分別拍攝的圖像的倍率的實際測量值。

根據該結構，上述位置檢測裝置與僅設定有圖像的倍率的代表值的位置檢測裝置相比，能夠更準確地檢測出對準標記的位置。

所述多個位置沿所述基準面規則地排列。

根據該結構，上述位置檢測裝置在拍攝部位于沿基準面的任意位置的情況下，都可以更準確地檢測出對準標記的位置。

所述控制部也可以使用與在所述多個位置中距所述拍攝部的位置最近的位置對應的所述實際測量值，對所述對準標記的位置進行計算。

另外，所述控制部也可以使用根據下述所述實際測量值計算出的值，對所述對準標記的位置進行計算，該實際測量值與在所述多個位置中接近所述拍攝部的位置的大于或等于2個的位置對應。

根據上述結構，上述位置檢測裝置能夠更準確地檢測出對準標記的位置。