[發明專利]平面視圖樣品制備

有效

• 申請號: 201410302659.2
• 申請日: 2014-06-27
• 公開（公告）號: CN104251795B
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: R.J.楊
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N1/44
• 分類號: G01N1/44
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 馬紅梅;陳嵐

1.一種用于創造平面視圖TEM樣品的方法，包括：

在具有樣品臺平面的樣品臺上提供第一工件，該第一工件包括被定向為處于第一定向的薄層平面；

使用離子束從該第一工件銑削樣品，從而使得該樣品基本上從該第一工件釋放；

將探針附接至該樣品，該探針包括具有軸線的軸，該軸線被定向成相對于該樣品臺成一個軸角，該軸角不垂直于該樣品臺平面；

將該探針環繞該軸線轉動過轉動角，該旋轉致使該樣品被旋轉，從而使得該薄層平面被定向為處于第二定向；

將該樣品附接至或將該樣品放置于下述物品之上：

該第一工件，該第一工件是該樣品從其上被銑削的該工件；或

第二工件，該第二工件是該樣品未從其上被銑削的工件；以及

使用該離子束將該樣品打薄以形成一個薄層，該薄層被定向為在該薄層平面內。

2.如權利要求1所述的方法，其中，該軸角為45度，并且該轉動角為180度。

3.如權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，將該探針附接至該樣品包括通過離子束沉積將該探針附接至該樣品。

4.如權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，將該探針附接至該樣品包括通過粘合劑將該探針附接至該樣品。

5.如權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，使用離子束從該第一工件銑削該樣品包括使用聚集離子束從該第一工件銑削該樣品。

6.如權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，銑削該樣品進一步包括銑削該樣品從而使得所銑削的樣品的一個面基本上與該薄層平面垂直。

7.如權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，將該樣品附接至該第一或第二工件進一步包括在該工件和該樣品上形成至少一個沉積物，該沉積物將該樣品附接至該第一或第二工件。

8.如權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，將該樣品附接至或將該樣品放置于該第一或第二工件上進一步包括：在該第一或第二工件的表面中銑削凹陷區，該凹陷區的尺寸適合接收該樣品的至少一部分，以及放置該樣品從而使得該樣品的至少一部分被安置在該凹陷區內。

9.如權利要求7所述的方法，進一步包括使用該離子束通過離子束沉積形成該至少一個沉積物。

10.如權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，將該探針環繞該軸線轉動過轉動角致使該樣品被轉動，從而使得該樣品臺平面和該薄層平面基本上垂直。

11.如權利要求10所述的方法，其中，在該銑削步驟之前，該薄層平面基本上平行于該樣品臺平面。

12.如權利要求1或權利要求2所述的方法，進一步包括：

使用離子束從該樣品銑削該薄層，從而使得該薄層基本上從該樣品釋放；

將該薄層附接至透射電子顯微鏡（TEM）柵格；以及

當被附接至該透射電子顯微鏡（TEM）柵格時觀察該薄層。

13.如權利要求12所述的方法，進一步包括在從該樣品銑削該薄層之前，將該樣品所被附接或放置在其上的該工件移動至第二裝置，該第二裝置是未被用于從該工件銑削該樣品的裝置。

14.如權利要求1所述的方法，其中執行使用所述離子束使所述樣品變薄以形成薄片的同時將所述樣品附接或放置在所述第一工件或所述第二工件上。