[發明專利]表面發射激光器及使用其的光學相干層析測量設備

有效

• 申請號: 201410302248.3
• 申請日: 2014-06-27
• 公開（公告）號: CN104253376B
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發明（設計）人: 長友靖浩
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H01S5/183
• 分類號: H01S5/183
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038
• 代理人: 歐陽帆

1.一種表面發射激光器，可操作為改變發射光的波長，所述表面發射激光器包括：

第一反射鏡；

第二反射鏡，其中腔沿著表面發射激光器的光軸形成于第一反射鏡和第二反射鏡之間；

在所述腔內形成的有源層；

在所述腔內形成的區域；以及

位于所述區域內的可移動部分，所述可移動部分具有與所述區域的折射率不同的折射率；

其中能通過在不改變第一反射鏡與第二反射鏡(100)之間的距離的情況下在所述區域中改變所述可移動部分的沿著光軸的方向的位置來改變發射光的波長；以及

其中形成于第一反射鏡和第二反射鏡之間的腔長度為10個波長或更少，1個波長是表面發射激光器可發射的光的波長范圍的中心波長。

2.根據權利要求1所述的表面發射激光器，

其中可移動部分的在光軸方向上的厚度比第一反射鏡的在光軸方向上的厚度更薄并且比第二反射鏡的在光軸方向上的厚度更薄。

3.根據權利要求1所述的表面發射激光器，

其中可移動部分的重量比第一反射鏡的重量更小并且比第二反射鏡的重量更小。

4.根據權利要求1所述的表面發射激光器，

其中第一反射鏡和第二反射鏡中的至少一個是分布式布拉格反射器。

5.根據權利要求1所述的表面發射激光器，

其中可移動部分的在光軸方向上的光學厚度nd被表示為

λ₀/4×0.8+mλ₀/2≤nd≤λ₀/4×1.2+mλ₀/2(6)

其中λ₀是表面發射激光器可發射的光的波長范圍的中心波長，并且m是整數。

6.根據權利要求1所述的表面發射激光器，

其中腔長度為3個波長或更少。

7.根據權利要求1所述的表面發射激光器，

其中腔長度為2個波長或更多。

8.根據權利要求1所述的表面發射激光器，

其中為可移動部分的在光軸方向上的至少一面設置具有比可移動部分的折射率更小的折射率的抗反射膜。

9.根據權利要求1所述的表面發射激光器，

其中在所述區域中設置多個可移動部分。

10.根據權利要求1所述的表面發射激光器，還包括：

控制單元，用于根據所述區域內的可移動部分的沿著光軸的位置，調節被激發的光強度和向有源層注入的電流值。

11.根據權利要求1所述的表面發射激光器，

其中所述區域內是真空狀態。

12.根據權利要求1所述的表面發射激光器，

其中所述區域內填充有具有比空氣的平均分子量更小的分子量的氣體。

13.一種光學相干層析測量設備，包括：

可操作為改變發射光的波長的光源單元，其中光源單元包括根據權利要求1所述的表面發射激光器；

干涉光學系統，被配置為將來自光源的光分岔為要照射到對象上的照射光和要照射到參照表面上的參照光，并且被布置為根據從對象反射的照射光和從參照表面反射的參照光來生成干涉光；

被配置為接收干涉光的光檢測單元；以及

信息獲取單元，被配置為基于干涉光的強度的時間波形獲取對象的信息。