[發明專利]鈦酸鍶鋇介質薄膜的制備方法有效
| 申請號： | 201410300413.1 | 申請日： | 2014-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN104030680A | 公開（公告）日： | 2014-09-10 |
| 發明（設計）人： | 李玲霞;董和磊;于仕輝;金雨馨;許丹 | 申請（專利權）人： | 天津大學 |
| 主分類號： | C04B35/468 | 分類號： | C04B35/468;C04B35/622 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201 | 代理人： | 張宏祥 |
| 地址： | 300072*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鈦酸鍶鋇 介質 薄膜 制備 方法 | ||
1.一種鈦酸鍶鋇介質薄膜的制備方法，具有如下步驟：
(1)配制鈦-檸檬酸-乙二醇溶液
①根據鈦酸鍶鋇的化學計量比稱取二氧化鈦粉體，將二氧化鈦放入氫氟酸中，水浴加熱至其全部溶解；
②向步驟①的溶液中加入氨水，中和反應生成偏鈦酸沉淀；
③抽濾、洗滌步驟②所得偏鈦酸沉淀，然后將偏鈦酸加入硝酸中，磁力攪拌至沉淀完全溶解，得到硝酸鈦溶液；其中偏鈦酸與硝酸的摩爾比為1:2；
④向步驟③所得硝酸鈦溶液中加入檸檬酸，磁力攪拌使檸檬酸完全溶解；再向溶液中加入乙二醇溶液，加熱磁力攪拌2h使溶液混合均勻，其中硝酸鈦、檸檬酸與乙二醇之間的摩爾比為1:4:4；
⑤將步驟④所得溶液靜置24h，使反應進行完全，得到鈦-檸檬酸-乙二醇的硝酸水溶液；溶液經60℃磁力攪拌加熱4h，得到穩定的鈦-檸檬酸-乙二醇水溶液；
(2)配制鋇-鍶-檸檬酸-乙二醇溶液
①按照摩爾比例1：4制備檸檬酸-乙二醇溶液
②根據鈦酸鍶鋇的化學計量比稱取鈦酸鋇、鈦酸鍶，將其加入上述檸檬酸-乙二醇溶液中，磁力攪拌加熱至粉體全部溶解，得到穩定的鋇-鍶-檸檬酸-乙二醇溶液；
(3)將步驟(2)配置的鋇-鍶-檸檬酸-乙二醇溶液加入步驟(1)配置鈦-檸檬酸-乙二醇水溶液中，攪拌均勻得鈦酸鍶鋇前驅體溶膠；
(4)向步驟(3)制得鈦酸鍶鋇溶膠中加入甲醇做稀釋劑，加熱攪拌，得到所以需要的鈦酸鍶鋇前驅體溶膠；
(5)將步驟(4)配置的前軀體溶膠滴在基底上，用臺式勻膠機勻膠，使溶膠均勻地涂覆在基底上，制得多層薄膜，然后于熱板上干燥；
(6)將步驟(5)干燥后的薄膜在550～750℃進行熱處理；
(7)重復步驟(5)、(6)制備厚度為300nm的多層薄膜；
(8)將步驟(7)制備的多層薄膜再于550～750℃進行后處理，處理0.5～2h，得到鈦酸鍶鋇介質薄膜。
2.根據權利要求1所述的鈦酸鍶鋇介質薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟(5)的基底為SiO2/Si基底。
3.根據權利要求1所述的鈦酸鍶鋇介質薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟(6)的熱處理溫度為650℃。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于天津大學，未經天津大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410300413.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
