[發明專利]一種化學拋光組合物

在審

• 申請號: 201410296827.1
• 申請日: 2014-06-28
• 公開（公告）號: CN104059545A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發明（設計）人: 范向奎
• 申請（專利權）人: 青島寶泰新能源科技有限公司
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種化學拋光組合物。

背景技術

對增加內存或硬盤容量的需求以及內存或硬盤小型化的趨勢(因為計算機設備中需要更小磁盤驅動器)持續不斷，強調內存或硬盤片制造方法的重要性，包括這類盤片的平坦化或拋光，以確保性能最佳。盡管存在幾種用于與半導體裝置制造相關的化學機械拋光(CMP)組合物及方法，但是幾乎沒有常規的 CMP 方法或商購的 CMP 組合物非常適于內存或硬盤片的平坦化或拋光。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種化學拋光組合物。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是：

一種化學拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數的物質：過磷酸鈣11-16份，硫酸鉀9-16份，硝酸鈣3-5份，乙二醇丁醚19-26份，偶聯劑,15-23份，二甲基苯胺11-15份，表面活性劑6-15份，甲基三乙氧基硅烷2-3份，調節劑6-8份，碳酸鈣3-6份，苯甲酸甲酯15-23份，三乙醇胺1-3份，，三乙胺10-19份，酒石酸5-10份，納米銀0.5份。

本發明的有益效果是：制備簡單，拋光效果明顯，性能穩定。

具體實施方式

實施例1

一種化學拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數的物質：過磷酸鈣11-16份，硫酸鉀9-16份，硝酸鈣3-5份，乙二醇丁醚19-26份，偶聯劑,15-23份，二甲基苯胺11-15份，表面活性劑6-15份，甲基三乙氧基硅烷2-3份，調節劑6-8份，碳酸鈣3-6份，苯甲酸甲酯15-23份，三乙醇胺1-3份，，三乙胺10-19份，酒石酸5-10份，納米銀0.5份。