[發明專利]負型感光性樹脂組合物、固化膜、電子裝置和聚合物

有效

• 申請號: 201410295423.0
• 申請日: 2014-06-26
• 公開（公告）號: CN104252102B
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發明（設計）人: 大西治;池田陽雄
• 申請（專利權）人: 住友電木株式會社
• 主分類號: G03F7/038
• 分類號: G03F7/038;G03F7/00;C08F222/06;C08F232/08;C08F8/14;C08F8/00
• 代理公司: 11227 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 苗堃;金世煜<國際申請>=<國際公布>=

本發明提供負型感光性樹脂組合物，其包含由下述式(1)表示的共聚物構成的聚合物、光酸產生劑和以由上述光酸產生劑產生的酸為催化劑將上述聚合物交聯的第一交聯劑。(式(1)中，l、p和m表示聚合物中的摩爾含有率，且滿足l+p+m≤1、0≤l＜1、0＜p＜1以及0＜m＜1的條件，n和q各自獨立地為0、1或2，R₁～R₄和R₈～R₁₁各自獨立地為氫或碳原子數1～30的有機基團，選自R₈、R₉、R₁₀和R₁₁中的1個或2個以上為具有醇羥基的有機基團，A為由下述式(2a)、(2b)、(2c)或(2d)表示的結構單元)(式(2a)和式(2b)中，R₅、R₆和R₇各自獨立地為碳原子數1～18的有機基團)。

技術領域

本發明涉及負型感光性樹脂組合物、固化膜、電子裝置和聚合物。

背景技術

在半導體集成電路、平板顯示器(FPD)的顯示面等的制造過程中，為了形成微細元件或進行微細加工，利用了光刻技術。

在光刻技術中，為了形成抗蝕劑圖案，使用了感光性樹脂組合物。

例如，在專利文獻1(日本特開平2-146045號公報)中，公開了包含聚合物和感光劑的感光性樹脂組合物。公開了上述聚合物具有由環狀脂肪烴骨架構成的單元和來自馬來酸酐的單元，是將來自馬來酸酐的單元的酸酐環水解而得的聚合物。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平2-146045號公報

發明內容

但是，由于包含上述聚合物的感光性樹脂組合物的交聯反應的效率差，所以需要添加大量光酸產生劑、交聯劑。

如果向感光性樹脂組合物中添加大量光酸產生劑、交聯劑，則得到的負型感光性絕緣膜的各種特性變差。

本發明人等發現通過使用包含下述式(1)表示的共聚物的負型感光性樹脂組合物，能夠形成負型感光性絕緣膜所要求的各種特性的平衡優異的負型感光性絕緣膜，從而完成了本發明。

即，根據本發明，提供一種負型感光性樹脂組合物，包含由下述式(1)表示的共聚物構成的聚合物、光酸產生劑和以由上述光酸產生劑產生的酸為催化劑將上述聚合物交聯的第一交聯劑。

(式(1)中，l、p和m表示聚合物中的摩爾含有率，且滿足l+p+m≤1、0≤l＜1、0＜p＜1以及0＜m＜1的條件，

n和q各自獨立地為0、1或2，

R₁～R₄和R₈～R₁₁各自獨立地為氫或碳原子數1～30的有機基團，

選自R₈、R₉、R₁₀和R₁₁中的1個或2個以上為具有醇羥基的有機基團，

A為由下述式(2a)、(2b)、(2c)或(2d)表示的結構單元)

(式(2a)和式(2b)中，R₅、R₆和R₇各自獨立地為碳原子數1～18的有機基團)

另外，根據本發明，提供使上述負型感光性樹脂組合物固化而得的固化膜。

另外，根據本發明，提供具備上述固化膜的電子裝置。