[發(fā)明專利]一種多晶硅還原爐聯(lián)鎖系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410295303.0
• 申請日: 2014-06-26
• 公開（公告）號: CN105204452B
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發(fā)明（設計）人: 王文;鄒分紅;劉方旭;鄭安;其他發(fā)明人請求不公開姓名
• 申請（專利權）人: 新特能源股份有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產權代理有限公司11112
• 代理人: 羅建民,鄧伯英

1.一種多晶硅還原爐聯(lián)鎖系統(tǒng)，包括：控制器、電控柜、用于控制三氯氫硅進料管線導通或斷開的三氯氫硅切斷閥、用于控制含氫廢氣管線導通或斷開的含氫廢氣切斷閥、用于控制不含氫廢氣管線導通或斷開的不含氫廢氣切斷閥、用于控制尾氣管線導通或斷開的尾氣切斷閥和用于控制抽真空管線導通或斷開的抽真空切斷閥，其特征在于，

控制器用于，根據預設的控制周期獲取還原爐的狀態(tài)信號，當獲取到還原爐的停止狀態(tài)信號時，向三氯氫硅切斷閥發(fā)送關閉控制信號，并鎖死三氯氫硅切斷閥，以觸發(fā)電控柜停止聯(lián)鎖，以及，檢測含氫廢氣切斷閥、不含氫廢氣切斷閥、尾氣切斷閥和抽真空切斷閥的狀態(tài)，以投用尾氣閥互鎖聯(lián)鎖；當檢測到含氫廢氣切斷閥、不含氫廢氣切斷閥、尾氣切斷閥和抽真空切斷閥當中任一個閥門處于開啟狀態(tài)時，向其余的3個閥門發(fā)送關閉控制信號并鎖死，以觸發(fā)尾氣閥互鎖聯(lián)鎖；其中，所述其余的3個閥門是指所述含氫廢氣切斷閥、不含氫廢氣切斷閥、尾氣切斷閥和抽真空切斷閥中除所述處于開啟狀態(tài)的閥門之外的3個閥門。

2.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器還用于，當檢測到含氫廢氣切斷閥、不含氫廢氣切斷閥、尾氣切斷閥和抽真空切斷閥均為閉合狀態(tài)時，向含氫廢氣切斷閥、不含氫廢氣切斷閥、尾氣切斷閥和抽真空切斷閥發(fā)送解鎖控制信號，以解除尾氣閥互鎖聯(lián)鎖。

3.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器還用于，當獲取到還原爐的運行狀態(tài)信號時，或者，當獲取到還原爐的停止狀態(tài)信號，并接收到用戶發(fā)送的尾氣閥互鎖停用控制信號時，停止檢測含氫廢氣切斷閥、不含氫廢氣切斷閥、尾氣切斷閥和抽真空切斷閥的狀態(tài)，并向含氫廢氣切斷閥、不含氫廢氣切斷閥、尾氣切斷閥和抽真空切斷閥中鎖死的閥門發(fā)送解鎖控制信號，以停止投用并解除尾氣閥互鎖聯(lián)鎖。

4.如權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器還用于，當獲取到還原爐的運行狀態(tài)信號時，或者，當獲取到還原爐的停止狀態(tài)信號，并接收到用戶發(fā)送的電控柜停止聯(lián)鎖解除控制信號時，向三氯氫硅切斷閥發(fā)送解鎖控制信號，以解除電控柜停止聯(lián)鎖。

5.如權利要求1-4任一項所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括：用于控制氫氣進料管線導通或斷開的氫氣切斷閥和設置在控制器上的急停按鈕；

所述控制器還用于，當獲取到還原爐的運行狀態(tài)信號時，使能急停按鈕，以投用急停聯(lián)鎖；當獲取到還原爐的停止狀態(tài)信號時，令急停按鈕失效，以停止投用急停聯(lián)鎖；當接收到還原爐急停控制信號時，向電控柜發(fā)送能使還原爐停止運行的急停控制信號，并向三氯氫硅切斷閥和氫氣切斷閥發(fā)送關閉控制信號，以觸發(fā)急停聯(lián)鎖；其中，所述還原爐急停控制信號是急停按鈕被按下時，向控制器發(fā)送的。

6.如權利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括：設置在控制器上的掛起按鈕；

所述控制器還用于，當獲取到還原爐的運行狀態(tài)信號時，使能掛起按鈕，以投用掛起聯(lián)鎖；當接收到還原爐掛起控制信號時，向三氯氫硅切斷閥和氫氣切斷閥發(fā)送關閉控制信號，并鎖死三氯氫硅切斷閥和氫氣切斷閥，以觸發(fā)掛起聯(lián)鎖，其中，所述還原爐掛起控制信號是掛起按鈕使能后并被按下時，向控制器發(fā)送的；當獲取到還原爐的停止狀態(tài)信號時，令掛起按鈕失效，并向三氯氫硅切斷閥和氫氣切斷閥的掛起聯(lián)鎖發(fā)送解鎖控制信號，以停止投用并解除掛起聯(lián)鎖；當獲取到還原爐的運行狀態(tài)信號，并接收到還原爐掛起控制信號，且三氯氫硅切斷閥和氫氣切斷閥處于關閉并鎖死的狀態(tài)時，如需要解除掛起聯(lián)鎖，則向三氯氫硅切斷閥和氫氣切斷閥發(fā)送解鎖控制信號，以解除掛起聯(lián)鎖。