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[發明專利]一種藍寶石襯底拋光液的制備方法有效

專利信息
申請號: 201410293579.5 申請日: 2014-06-26
公開(公告)號: CN104109481A 公開(公告)日: 2014-10-22
發明(設計)人: 杜志偉 申請(專利權)人: 河北宇天昊遠納米材料有限公司
主分類號: C09G1/02 分類號: C09G1/02
代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411 代理人: 鄭自群
地址: 050000 河北省石家*** 國省代碼: 河北;13
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 藍寶石 襯底 拋光 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種藍寶石襯底拋光液的制備方法,其特征在于,其方法步驟如下:

(1)采用膜過濾設備去除硅溶膠原料中的金屬離子和其他雜質;

(2)在真空負壓狀態下將上述過濾后的濃度為48%~50%的硅溶膠加入密閉反應罐中;

(3)在真空負壓狀態下將穩定劑加入密閉反應罐中;

(4)在真空負壓狀態下將PH值為8.0~8.5的增效劑加入密閉反應罐中;

(5)將密閉反應罐中的液體在負壓翻滾狀態下充分攪拌60分鐘,混合均勻后進行灌裝。

2.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底拋光液的制備方法,其特征在于,所述密閉反應罐在使用前采用超純水在真空負壓翻滾狀態下清洗六遍;所述密閉反應罐采用無污染的亞克力材料制成。

3.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底拋光液的制備方法,其特征在于,所述步驟(1)中的膜過濾設備采用100納米級陶瓷膜過濾系統。

4.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底拋光液的制備方法,其特征在于,所述步驟(3)中加入的穩定劑重量占拋光液總重量的0.5%~0.8%。

5.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底拋光液的制備方法,其特征在于,所述步驟(4)中加入的增效劑重量占拋光液總重量的0.2%~0.6%。

6.根據權利要求4所述的一種藍寶石襯底拋光液的制備方法,其特征在于,所述穩定劑為碳酸胍。

7.根據權利要求5所述的一種藍寶石襯底拋光液的制備方法,其特征在于,所述增效劑采用脂肪醇聚氧乙烯醚、乳化劑OP-10和超純水按質量比1:1:1的比例混合制備而成。

8.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底拋光液的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)中的硅溶膠是粒徑為80nm~90nm、膠粒形狀為球形、分散度小于0.001、莫氏硬度為6的二氧化硅溶膠。

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