[發(fā)明專利]一種環(huán)保型拋光液

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410291996.6
• 申請(qǐng)日: 2014-06-26
• 公開（公告）號(hào): CN104059544A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范向奎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島寶泰新能源科技有限公司
• 主分類號(hào): C09G1/02
• 分類號(hào): C09G1/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種環(huán)保型拋光液。

背景技術(shù)

相變存儲(chǔ)器因具有高速讀取、高可擦寫次數(shù)、非易失性、元件尺寸小、功耗低、抗強(qiáng)震動(dòng)和抗輻射、成本具有競(jìng)爭(zhēng)力等優(yōu)點(diǎn)，而被國(guó)際半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)認(rèn)為是最有可能取代目前的閃存存儲(chǔ)器的下一代非易失性存儲(chǔ)器。相變存儲(chǔ)器技術(shù)的基本原理是以硫系化合物為存儲(chǔ)介質(zhì)，利用電能使材料在晶態(tài)與非晶態(tài)(高阻)之間相互轉(zhuǎn)換實(shí)現(xiàn)信息的寫入與擦除，信息的讀出則靠測(cè)量電阻的變化實(shí)現(xiàn)。存儲(chǔ)單元包括由電介質(zhì)材料定義的細(xì)孔，相變材料沉積在細(xì)孔中，相變材料在細(xì)孔的一端上連接電極。電極接觸使電流通過該通道產(chǎn)生焦耳熱對(duì)該單元進(jìn)行編程，或者讀取該單元的電阻狀態(tài)。

目前，在構(gòu)建相變存儲(chǔ)單元時(shí)，通行的做法是:先通過磁控濺射的方法沉積相變材料在由電介質(zhì)材料定義的細(xì)孔中，然后通過反應(yīng)離子刻蝕CRIE)或者化學(xué)機(jī)械拋光的方法，將細(xì)空上方的相變材料進(jìn)行去除。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種環(huán)保型拋光液。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

一種環(huán)保型拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì)：三偏焦磷酸1-3份，磷酸二氫鉀5-13份，苯甲酸甲酯16-25份，乙二醇丁醚11-14份，馬來酸酐9-13份，表面活性劑10-14份，有機(jī)添加劑7-9份，除油劑1-2份，碳酸鈣7-10份，硬脂酸鹽7-14份，三乙胺4-13份，酒石酸5-10份，硼酸鋅4-13份，硬脂酰胺10-15份。

本發(fā)明的拋光液性能穩(wěn)定，拋光效果好，可滿足制備納電子相變存儲(chǔ)器中工藝的需要。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1

一種環(huán)保型拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì)：三偏焦磷酸1-3份，磷酸二氫鉀5-13份，苯甲酸甲酯16-25份，乙二醇丁醚11-14份，馬來酸酐9-13份，表面活性劑10-14份，有機(jī)添加劑7-9份，除油劑1-2份，碳酸鈣7-10份，硬脂酸鹽7-14份，三乙胺4-13份，酒石酸5-10份，硼酸鋅4-13份，硬脂酰胺10-15份。