[發(fā)明專利]溶劑筒清洗系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410291559.4
• 申請日: 2014-06-26
• 公開（公告）號: CN104056832B
• 公開（公告）日: 2017-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 殷福華;朱永剛;朱龍;趙文虎
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰江化微電子材料股份有限公司
• 主分類號: B08B9/28
• 分類號: B08B9/28
• 代理公司: 江陰大田知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)32247
• 代理人: 楊新勇

1.一種溶劑筒清洗系統(tǒng)，包括用于使溶劑筒內(nèi)底面傾斜設(shè)置的支架或底座、用于密封溶劑筒頂部的進(jìn)、出口的進(jìn)、出口蓋、用于從溶劑筒內(nèi)最低處抽取流體的抽取管、以及用于向溶劑筒內(nèi)噴射清潔流體的噴頭；噴頭的供料管穿過進(jìn)口蓋，同時與進(jìn)液管路和進(jìn)氣管路相連通，進(jìn)液管路和進(jìn)氣管路分別連通溶劑存儲裝置和氣體存儲裝置，進(jìn)液管路和進(jìn)氣管路上分別設(shè)有進(jìn)液閥和進(jìn)氣閥；抽取管穿過出口蓋，同時與出液管路和排氣管路相連通；排氣管路上設(shè)有排氣閥并連通至廢氣排放口或廢氣收集或處理裝置，出液管路上沿出液方向依次設(shè)有出液閥和抽液泵并連通至廢液排放口或廢液收集或處理裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)氣管路還設(shè)有用于加熱管道內(nèi)氣體的加熱裝置。

3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述抽取管包括上部的直管段和與直管段連接的下部的波紋管段，波紋管段的下部連接有耐腐塑料為外層的配重塊；且進(jìn)口蓋與直管道的外壁密封配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述噴頭為升降式360度旋轉(zhuǎn)噴頭；所述進(jìn)口蓋與所述供料管為密封配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述出液管道在靠近所述抽液管處設(shè)有用于偵測溶劑筒內(nèi)液位的電容式液位偵測開關(guān)，電容式液位偵測開關(guān)電連接控制器，控制器電連接所述進(jìn)液閥和所述出液閥。

6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述溶劑存儲裝置為貯存去離子水的存儲裝置，且所述溶劑存儲裝置為高位槽。

7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述溶劑存儲裝置為貯存溶劑筒所罐裝有機(jī)溶劑的存儲裝置；且所述溶劑存儲裝置為低位槽；所述進(jìn)液管路在所述進(jìn)液閥和所述溶劑存儲裝置之間還設(shè)有輸液泵。

8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述廢液處理裝置為過濾器，過濾器的出口通過回液管道連通至所述溶劑存儲裝置；且所述溶劑存儲裝置與回液管道以及與所述進(jìn)液管道分別為可拆卸式連接。

9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述過濾器包括三道用于截流廢液中顆粒的過濾膜；沿出液方向，過濾膜濾孔的孔徑依次為0.5μm、0.2μm和0.05~0.1μm。

10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)液管道還連通用于取樣檢驗的分支管道，分支管道的出口為取樣口，分支管道上設(shè)有取液閥。