[發明專利]平板電容位移傳感器標定裝置

有效

• 申請號: 201410290740.3
• 申請日: 2014-06-25
• 公開（公告）號: CN104048588B
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發明（設計）人: 張德福;郭抗;李顯凌;李朋志
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B7/02
• 分類號: G01B7/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所(普通合伙)22210
• 代理人: 南小平

1.平板電容位移傳感器標定裝置，其特征是，激光干涉儀(1)發出的測量光束通過微位移調整機構(3)上的通光孔(3-1)后入射到分光鏡(4)處，分光鏡(4)與分光鏡支撐調節座(5)連接，分光鏡支撐調節座(5)與微位移調整機構(3)上的分光鏡支撐調節座接口(3-2)連接；參考反射鏡(6)和分光鏡(4)連接，并且與激光干涉儀(1)光軸在同一直線上；測量反射鏡(2)與測量反射鏡支撐座(7)連接且安裝到微位移調整機構(3)的導向機構(3-3)的左端，調節測量反射鏡(2)的通光孔和分光鏡(4)的通光孔位于同一直線上，且垂直激光干涉儀(1)的光軸方向；微位移調整機構(3)的導向機構(3-3)上設有傳感器被測面(3-4)，平板電容位移傳感器(11)安裝在傳感器支撐座(8)的中間位置，且與傳感器被測面(3-4)相對應；傳感器支撐座(8)的兩端分別安裝到微位移調整機構(3)兩側的凸臺(3-5)上；在驅動器(9)的左端安裝有驅動器推桿(10)，該驅動器推桿(10)穿過微位移調整機構(3)上的導向孔(3-6)后頂推微位移調整機構(3)的導向機構(3-3)做單自由度直線運動。

2.根據權利要求1所述的平板電容位移傳感器標定裝置，其特征在于，所述的導向機構(3-3)采用了一個過約束的對稱平行四邊形機構，該平行四邊形機構由中間連桿和八個圓弧形柔性鉸鏈構成，圓弧形柔性鉸鏈也可用圓角形柔性鉸鏈代替。

3.根據權利要求1所述的平板電容位移傳感器標定裝置，其特征在于，所述的微位移調整機構(3)的材料為殷鋼。

4.根據權利要求1所述的平板電容位移傳感器標定裝置，其特征在于，所述的傳感器支撐座(8)中間兩側均具有傳感器連接接口。