[發明專利]熱位移修正方法以及熱位移修正裝置

有效

• 申請號: 201410290713.6
• 申請日: 2014-06-25
• 公開（公告）號: CN104281094B
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 佐佐木雄二;巖井英樹;櫻井康匡
• 申請（專利權）人: 株式會社捷太格特
• 主分類號: G05B19/404
• 分類號: G05B19/404
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;蘇琳琳

1.一種工作機械的熱位移修正方法，其特征在于，所述工作機械具備支承體和以能夠移動的方式支承于所述支承體并基于指令位置相對于所述支承體進行移動的移動體，

所述熱位移修正方法包括：

熱位移推斷工序，通過熱位移推斷處理分別獨立地推斷所述支承體以及所述移動體的熱位移；

刻度尺位置位移獲取工序，基于所述支承體的熱位移獲取檢測所述移動體的位置的刻度尺的安裝位置的位移；

移動體實際位置獲取工序，基于所述刻度尺的安裝位置的位移以及通過所述刻度尺檢測出的所述移動體的檢測值，獲取所述支承體熱變形之后的相對于所述支承體的所述移動體的實際位置；

傾斜量計算工序，基于所述移動體的實際位置以及所述支承體的熱位移，計算所述移動體的實際位置上的所述移動體的傾斜量；

合成位移計算工序，基于所述移動體的熱位移、所述移動體的實際位置以及所述移動體的傾斜量，獲取合成了所述支承體的熱位移和所述移動體的熱位移的位移；

修正值計算工序，基于所述合成的位移，計算針對所述移動體的指令位置的修正值；以及

修正工序，根據所述修正值修正所述移動體的所述指令位置。

2.根據權利要求1所述的工作機械的熱位移修正方法，其特征在于，

在所述移動體實際位置獲取工序中，還使用利用所述刻度尺的線膨脹系數進行推斷的所述刻度尺的熱位移，來獲取所述移動體的實際位置。

3.根據權利要求1所述的工作機械的熱位移修正方法，其特征在于，

所述移動體是包括所述工作機械的工作臺的結構體。

4.根據權利要求2所述的工作機械的熱位移修正方法，其特征在于，

所述移動體是包括所述工作機械的工作臺的結構體。

5.根據權利要求1所述的工作機械的熱位移修正方法，其特征在于，

所述移動體是所述工作機械的立柱。

6.根據權利要求2所述的工作機械的熱位移修正方法，其特征在于，

所述移動體是所述工作機械的立柱。

7.一種工作機械的熱位移修正裝置，其特征在于，所述工作機械具備支承體和以能夠移動的方式支承于所述支承體，并基于指令位置相對于所述支承體移動的移動體，

所述熱位移修正裝置包括：

熱位移推斷部，其通過熱位移推斷處理分別獨立地推斷所述支承體以及所述移動體的熱位移；

刻度尺位置位移獲取部，其基于所述支承體的熱位移，獲取檢測所述移動體的位置的刻度尺的安裝位置的位移；

移動體實際位置獲取部，其基于所述刻度尺的安裝位置的位移以及通過所述刻度尺檢測出的所述移動體的檢測值，獲取所述支承體熱變形之后的相對于所述支承體的所述移動體的實際位置；

傾斜量計算部，其基于所述移動體的實際位置以及所述支承體的熱位移，計算所述移動體的實際位置上的所述移動體的傾斜量；

合成位移計算部，其基于所述移動體的熱位移、所述移動體的實際位置以及所述移動體的傾斜量，獲取合成了所述支承體的熱位移和所述移動體的熱位移的位移；

修正值計算部，其基于所述合成的位移，計算針對所述移動體的指令位置的修正值；以及

修正部，其根據所述修正值修正所述移動體的所述指令位置。