[發明專利]一種高靈敏度疊層式撓曲電壓力傳感器

有效

• 申請號: 201410290568.1
• 申請日: 2014-06-25
• 公開（公告）號: CN104089737A
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 盧建鋒;梁旭;胡淑玲;申勝平;徐明龍
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G01L9/00
• 分類號: G01L9/00
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 何會俠

1.一種高靈敏度疊層式撓曲電壓力傳感器，包括測量微壓力引起機械變形的金屬彈性元件(2)，其特征在于：在所述金屬彈性元件(2)的頂部粘貼有多層撓曲電介電薄膜(6)，所述撓曲電介電薄膜(6)上下表面分別設置有上金屬電極(7)和下金屬電極(8)，所述上金屬電極(7)和下金屬電極(8)之間通過絕緣層(5)隔開，所述撓曲電介電薄膜(6)的上金屬電極(7)和下金屬電極(8)分別連接有輸出測量電荷信號的引線(4)，引線(4)的一端從外殼(1)引出，所述撓曲電介電薄膜(6)連同上金屬電極(7)和下金屬電極(8)以及絕緣層(5)均置于外殼(1)內，所述金屬彈性元件(2)和外殼(1)間設置有絕緣墊片(9)，所述金屬彈性元件(2)下方具有施加壓力的壓力通道(10)。

2.根據權利要求1所述的一種高靈敏度疊層式撓曲電壓力傳感器，其特征在于：所述金屬彈性元件(2)也置于外殼(1)內。

3.根據權利要求1所述的一種高靈敏度疊層式撓曲電壓力傳感器，其特征在于：所述引線(4)與撓曲電介電薄膜(6)的上金屬電極(7)和下金屬電極(8)分別通過引線鍵合的方式連接。

4.根據權利要求1所述的一種高靈敏度疊層式撓曲電壓力傳感器，其特征在于：所述撓曲電介電薄膜(6)為鈦酸鍶鋇薄膜。

5.根據權利要求1所述的一種高靈敏度疊層式撓曲電壓力傳感器，其特征在于：所述撓曲電介電薄膜(6)粘貼在金屬彈性元件(2)的頂部中央。

6.根據權利要求1所述的一種高靈敏度疊層式撓曲電壓力傳感器，其特征在于：所述金屬彈性元件(2)的頂部全部嵌入撓曲電介電薄膜(6)。

7.根據權利要求1所述的一種高靈敏度疊層式撓曲電壓力傳感器，其特征在于：所述金屬彈性元件(2)的下方固定有底座(3)，所述底座(3)為中空結構形成壓力通道(10)。

8.根據權利要求1所述的一種高靈敏度疊層式撓曲電壓力傳感器，其特征在于：所述多層撓曲電介電薄膜(6)之間以絕緣層(5)相互間隔增加。

9.根據權利要求1所述的一種高靈敏度疊層式撓曲電壓力傳感器，其特征在于：所述撓曲電介電薄膜(6)的最外層為絕緣層(5)。