[發(fā)明專利]扭曲角度可控的多層石墨烯結(jié)構(gòu)制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410289213.0 | 申請日： | 2014-06-23 |
| 公開（公告）號： | CN104029431B | 公開（公告）日： | 2018-06-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉智波;陳旭東;田建國 | 申請（專利權(quán)）人： | 南開大學(xué) |
| 主分類號： | B32B9/00 | 分類號： | B32B9/00;C01B32/194 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 300071*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多層石墨烯 可控的 扭曲 石墨烯 制備 玻璃片 基底 去除 材料技術(shù)領(lǐng)域 顯微操作系統(tǒng) 單層石墨烯 光電子器件 單晶切割 雙層石墨 堆疊 新基 旋涂 薄膜 腐蝕 攜帶 靈活 重復(fù) 應(yīng)用 | ||
1.一種扭曲角度可控的多層石墨烯結(jié)構(gòu)制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟1：將SiO2/Si基底上的單層石墨烯單晶切割成兩份；
步驟2：旋涂PMMA薄膜，并沿石墨烯的切割線切割成兩份；
步驟3：采用化學(xué)腐蝕液體將SiO2層腐蝕掉，從而使兩份攜帶石墨烯的PMMA薄膜脫落；
步驟4：將其中一份附著有目標(biāo)石墨烯的PMMA層轉(zhuǎn)移到新基底上，然后用丙酮洗去PMMA，將另外一份附著有目標(biāo)石墨烯的PMMA層放到玻璃片上，于玻璃片接觸的一面不含石墨烯；
步驟5：將新基底固定在電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺上，將玻璃片固定在顯微操作系統(tǒng)上，在顯微鏡下調(diào)整兩塊石墨烯的角度和位置，將其堆疊在一起；
步驟6：用丙酮洗去PMMA，即可得到扭曲的雙層石墨烯，切割后石墨烯的兩條邊的夾角即為扭曲角度；
步驟7：選定扭曲雙層石墨烯中保留有單層的部分，重復(fù)步驟1至步驟6，可獲得扭曲的三層石墨烯結(jié)構(gòu)，多次重復(fù)可獲得多層結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述的單層石墨烯單晶可以為化學(xué)氣相沉積方法獲得或由機(jī)械剝離法獲得。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述的石墨烯切割方法為激光切割或等離子體刻蝕。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述的PMMA切割方法為激光切割。
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