[發(fā)明專利]一種多通道實時氣體流速檢測裝置及方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410288641.1 | 申請日: | 2014-06-25 |
| 公開(公告)號: | CN104034915A | 公開(公告)日: | 2014-09-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 孟慶斌;張慧杰;齊星柱;李永峰 | 申請(專利權(quán))人: | 天津三星電機有限公司 |
| 主分類號: | G01P5/00 | 分類號: | G01P5/00;G05D13/62 |
| 代理公司: | 天津市三利專利商標(biāo)代理有限公司 12107 | 代理人: | 韓新城 |
| 地址: | 300210 *** | 國省代碼: | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 通道 實時 氣體 流速 檢測 裝置 方法 | ||
1.一種多通道實時氣體流速檢測裝置,其特征在于,包括多根并行設(shè)置的氣體流速檢測管,每根所述氣體流速檢測管上設(shè)有一個氣體流量計;每根所述氣體流速檢測管具有一進氣口、一出氣口,所述氣體流量計位于所述的進氣口、出氣口之間;每根所述氣體流速檢測管對應(yīng)連接一個待測氣流孔。
2.如權(quán)利要求1所述的多通道實時氣體流速檢測裝置,其特征在于,包括一殼體,所述氣體流速檢測管安裝于所述殼體中,且兩端伸出于所述殼體外形成所述進氣口、出氣口,所述殼體中設(shè)有為所述氣體流量計供電的電池和/或交流電源連接器,所述殼體上設(shè)有電源開關(guān)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的多通道實時氣體流速檢測裝置,其特征在于,所述氣體流速檢測管為12根。
4.一種多通道實時氣體流速檢測方法,其特征在于,用于對貼片陶瓷電容檢測設(shè)備刀閘驅(qū)動單元的多通道真空氣體流速進行檢測,檢測工具采用權(quán)利要求1-3任一項所述多通道實時氣體流速檢測裝置,具體步驟包括:
將所述多通道實時氣體流速檢測裝置的進氣口、出氣口分別與驅(qū)動刀閘單元的真空氣流口以及刀閘單元的氣流口對應(yīng)連接;
接通電源,調(diào)節(jié)所述氣體流量計,設(shè)置相關(guān)檢測參數(shù);
打開真空氣流控制閥,通過所述氣體流量計在線檢測流經(jīng)每個通道的氣體流速,調(diào)節(jié)所述真空氣流控制閥的閥門大小,調(diào)節(jié)氣體流速至需要的參數(shù)。
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