[發明專利]保管設備和保管方法

有效

• 申請號: 201410287375.0
• 申請日: 2014-06-25
• 公開（公告）號: CN104249896B
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 高原正裕;上田俊人
• 申請（專利權）人: 株式會社大福
• 主分類號: B65G1/04
• 分類號: B65G1/04;B65G1/137;B65D81/20
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 陳國慧,李婷

技術領域

本發明涉及保管設備和利用這種保管設備的保管方法，所述保管設備包括：多個收納部，收納容器；惰性氣體供給路，向各個上述多個收納部供給惰性氣體；噴出部，設置于各個上述多個收納部，將從上述惰性氣體供給路供給的惰性氣體向收納于上述收納部的上述容器的內部噴出；以及排出部，設置于各個上述多個收納部，在從上述噴出部向收納于上述收納部的上述容器的內部噴出惰性氣體的情況下，將該容器的內部的氣體排出到該容器的外部。

背景技術

在日本特開2010－16199號公報（專利文獻1）中公開了如上所述的保管設備的一例。專利文獻1的設備包括：收納容器的多個收納部；以及分別向多個收納部供給氮氣或氬氣等惰性氣體的惰性氣體供給路，利用惰性氣體供給路將惰性氣體供給到噴出部，從該噴出部噴出惰性氣體而將惰性氣體供給到收納于收納部的容器內。

在上述專利文獻1的保管設備中，在將容器收納于收納部時，通過將惰性氣體供給到容器內，使不符合半導體基板的質量管理的氧氣和水蒸氣等從排氣部排出到容器內的外部，從而抑制收納于容器的半導體基板產生氧化等不良情況。

這樣，已知有這樣的保管設備：將惰性氣體供給到收納于收納部的容器內，將容器內的氣體排出，來防止容器內的物品的質量劣化。

在將惰性氣體供給到收納于收納部的容器內的情況下，伴隨該惰性氣體向容器內的供給，存在于容器的內部的氣體從容器排出。這樣被排出的氣體從容器的排氣口直接或經由容器與蓋的間隙排出到收納容器的收納部。通過繼續向容器內供給惰性氣體，而將容器內的氣體置換成惰性氣體，惰性氣體隨之被排出到收納部。

進而，在向兩個以上的收納部供給惰性氣體的情況下，當這些收納部集中時，在該集中的收納部中惰性氣體被排出，惰性氣體的濃度局部升高。換言之，氧濃度局部變低。

但是，在這種保管設備中，考慮到對在周圍作業的作業人員等的影響，而期望抑制氧濃度的降低。因此，例如有時構成為設置對設置有收納部的設置空間的氧濃度進行檢測的傳感器，在該設置空間的氧濃度變成規定值以下的情況下，對多個收納部停止供給惰性氣體。

但是，在這種構成中，即使在整個設置空間氧濃度不變得那么低，由于在設置傳感器的部位氧濃度局部降低也停止惰性氣體的供給，因此，存在不必要地停止惰性氣體的供給的不良情況。

因此，期望抑制惰性氣體的濃度局部升高。

如上所述，期望在設置收納部的設置空間中能夠抑制惰性氣體的濃度局部升高的保管設備。

發明內容

本發明的保管設備包括：

多個收納部，收納容器；

惰性氣體供給路，向各個上述多個收納部供給惰性氣體；

噴出部，設置于各個上述多個收納部，將從上述惰性氣體供給路供給的惰性氣體向收納于上述收納部的上述容器的內部噴出；以及

排出部，設置于各個上述多個收納部，在從上述噴出部向收納于上述收納部的上述容器的內部噴出惰性氣體的情況下，將該容器的內部的氣體排出到該容器的外部；

多個供給量調節裝置，設置于上述惰性氣體供給路中的各個上述多個收納部的上述噴出部的上游側，調節向各個上述噴出部的惰性氣體的供給量；和

控制裝置，監視上述多個收納部中的惰性氣體的供給狀態，控制上述多個供給量調節裝置；

這里，上述控制裝置構成為，將上述多個收納部分成針對每個由彼此相鄰的兩個以上的收納部構成的收納部組設定的多個監視區域，來監視上述多個收納部中的惰性氣體的供給狀態，控制上述多個供給量調節裝置，使得向屬于各個上述多個監視區域的上述收納部的惰性氣體的供給狀態滿足預先確定的設定限制條件。

根據該構成，控制裝置控制多個供給量調節裝置，使得向屬于多個監視區域的每個的收納部的惰性氣體的供給狀態滿足預先確定的設定限制條件。

作為設定限制條件，例如考慮使對屬于監視區域的收納部組的惰性氣體的合計供給量為設定值以下，或使對屬于監視區域的收納部組供給惰性氣體的收納部的數目為合計設定數以下，或對屬于監視區域的收納部組供給惰性氣體的收納部連續排列的數目為連續設定數以下等。

相對于針對每個由彼此相鄰的兩個以上的收納部構成的收納部組設定的多個監視區域的每個，以滿足如上所述的預先確定的設定限制條件的方式供給惰性氣體，由此，能夠抑制屬于監視區域的收納部組中的惰性氣體的供給量。由此，在設置收納部的設置空間中，能夠抑制惰性氣體的濃度局部升高到成為問題的程度。