[發明專利]加熱控制裝置及物理氣相沉積設備

有效

• 申請號: 201410286251.0
• 申請日: 2014-06-24
• 公開（公告）號: CN105200387B
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 高正;陳春偉;佘清;趙可可;李新穎
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 李芙蓉

1.一種加熱控制裝置，其特征在于，包括轉動部、驅動裝置、固定部、加熱件連接部和加熱件；

所述加熱件連接部包括固定端和加熱端，所述固定端與所述固定部連接，所述加熱端與所述加熱件連接；

所述轉動部在所述驅動裝置的驅動下能夠帶動所述加熱件在所述轉動部或所述固定部轉動所限定的預設圓形范圍內移動，且所述移動在所述預設圓形的徑向方向上存在位移。

2.根據權利要求1所述的加熱控制裝置，其特征在于:

所述轉動部為圓柱環結構，所述轉動部的內側設有扇葉；

所述固定部為圓柱結構，所述固定部設有開口位于固定部外側且向內延伸的凹槽；

所述轉動部與所述固定部同軸設置，且所述轉動部套設在所述固定部外側；

所述加熱件連接部的固定端與所述凹槽的底部連接，所述加熱件連接部的加熱端位于所述凹槽的開口處，且與所述轉動部的扇葉相接觸；

所述轉動部在所述驅動裝置的驅動下圍繞軸線旋轉時，所述扇葉帶動所述加熱件在所述轉動部內環圓形范圍內移動，且所述移動在所述轉動部內環圓形的徑向方向上存在位移。

3.根據權利要求1所述的加熱控制裝置，其特征在于：

所述轉動部為圓柱結構，所述轉動部外側設有扇葉；

所述固定部為圓柱環結構，所述固定部設有開口位于固定部內側且向外延伸的凹槽；

所述轉動部與所述固定部同軸設置，且所述固定部套設在所述轉動部外側；

所述加熱件連接部的固定端與所述凹槽的底部連接，所述加熱件連接部的加熱端位于所述凹槽的開口處，且與所述轉動部的扇葉相接觸；

所述轉動部在所述驅動裝置的驅動下圍繞軸線旋轉時，所述扇葉帶動所述加熱件在所述固定部內環圓形范圍內移動，且所述移動在所述固定部內環圓形的徑向方向上存在位移。

4.根據權利要求1所述的加熱控制裝置，其特征在于：

所述轉動部包括圓柱環結構的第一轉動部和圓柱結構的第二轉動部，所述第一轉動部內側設有扇葉，所述第二轉動部外側設有扇葉；

所述固定部為圓柱環結構，且所述固定部設有開口位于固定部外側且向內延伸的凹槽，和開口位于固定部內側且向外延伸的凹槽；

所述轉動部和所述固定部同軸設置，由外至內分別為所述第一轉動部、所述固定部和所述第二轉動部；

所述加熱件連接部包括第一加熱件連接部和第二加熱件連接部；

所述第一加熱件連接部的固定端與開口位于固定部外側的凹槽的底部連接，所述第一加熱件連接部的加熱端位于開口位于固定部外側的凹槽的開口處，且與所述第一轉動部的扇葉相接觸；

所述第二加熱件連接部的固定端與開口位于固定部內側的凹槽的底部連接，所述第二加熱件連接部的加熱端位于開口位于固定部內側的凹槽的開口處，且與所述第二轉動部的扇葉相接觸；

所述第一轉動部和/或第二轉動部在驅動裝置的驅動下圍繞軸線旋轉時，所述扇葉帶動所述第一加熱件和/或第二加熱件在所述第一轉動部內環和/或所述固定部內環圓形范圍內移動，且所述移動在第一轉動部內環和/或所述固定部內環圓形的徑向方向上存在位移。

5.根據權利要求1-4任一項所述的加熱控制裝置，其特征在于，所述加熱件為加熱燈。

6.根據權利要求1-4任一項所述的加熱控制裝置，其特征在于，所述加熱件連接部為彈簧。

7.根據權利要求2或4所述的加熱控制裝置，其特征在于，所述開口位于固定部外側的凹槽沿所述固定部的徑向設置。

8.根據權利要求3或4所述的加熱控制裝置，其特征在于，所述開口位于固定部內側的凹槽相對所述固定部徑向方向有預設傾斜角設置。

9.根據權利要求2或4所述的加熱控制裝置，其特征在于，所述開口位于固定部外側的凹槽在所述固定部上均勻分布，且數量為8個。

10.根據權利要求3或4所述的加熱控制裝置，其特征在于，所述開口位于固定部內側的凹槽在所述固定部上均勻分布，且數量為4個。