[發明專利]一種生產銅鋅錫旋轉靶材的模具及其方法

有效

• 申請號: 201410281201.3
• 申請日: 2014-06-20
• 公開（公告）號: CN104032271A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 胡習光;秦國強;常金永;張志祥
• 申請（專利權）人: 江陰恩特萊特鍍膜科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22C9/00;C22C9/00;C22C1/02
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 殷紅梅

1.一種生產銅鋅錫旋轉靶材的模具，其特征是：包括澆鑄口（1），澆鑄口（1）與模具外套（2）連接；模具外套（2）內設置有襯管（4），模具外套（2）和襯管（4）之間設置有圓環型空腔（3）；模具外套（2）和襯管（4）的底部采用底部密封環（5）密封。

2.如權利要求1所述生產銅鋅錫旋轉靶材的模具，其特征是：所述澆鑄口（1）與圓環型空腔（3）之間通過流淌管連通，流淌管向圓環型空腔（3）內部傾斜。

3.如權利要求1所述生產銅鋅錫旋轉靶材的模具，其特征是：所述外套（2）內壁上涂覆有一層隔離層；所述隔離層為DY08涂料。

4.一種生產銅鋅錫旋轉靶材的方法，其特征是步驟為：

（1）熔煉：按銅：鋅：錫摩爾比為1.5-2.3：0.7-1.2：0.8-1.1取原料；開啟真空感應熔煉爐，抽真空至0.01-1Pa，通氮氣，壓力達到0.08-0.1MPa時，再次抽真空至0.01-1Pa；向熔煉爐中投入原料錫，250-270℃熔煉至完全熔化，控制溫度為250-300℃，投入銅，繼續熔煉至完全熔化，升溫至670-750℃，精煉25-35min，最后投入鋅，控制溫度不超過700℃快速熔化，全部熔化后，在680-690℃精煉8-12min，得到澆鑄液；

（2）澆鑄：取生產銅鋅錫旋轉靶材的模具，在200-450℃烘干，并預熱至200-600℃，將步驟（1）得到的澆鑄液澆鑄進模具中；通過流淌管進入圓環型空腔（3），涂覆在外套（2）內壁上的涂料防止模具溶解在澆鑄液中，澆鑄完成后，去除澆鑄口（1），用石墨環蓋住模具上端，在800-850℃保溫8-12min；

（3）冷卻：將保溫后的模具置入水箱中進行冷卻，水箱中設置有水循環和攪拌裝置，保持水溫在15-25℃之間，冷卻4-6min后取出，脫模，即得到銅鋅錫旋轉靶材。