[發明專利]表面等離激元波導

在審

• 申請號: 201410279849.7
• 申請日: 2014-06-20
• 公開（公告）號: CN105334573A
• 公開（公告）日: 2016-02-17
• 發明（設計）人: 張家森;胡闖;徐亮;金勇;樸硏相
• 申請（專利權）人: 北京三星通信技術研究有限公司;北京大學;三星電子株式會社
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 牛崢;王麗琴

1.一種表面等離激元波導，其特征在于，包括：

金屬襯底，以及位于所述襯底上的且相互平行的至少2個金屬墻；

所述金屬墻之間形成溝槽，使得表面等離激元在所述溝槽底部的金屬襯底表面沿著所述溝槽的延伸方向傳播。

2.根據權利要求1所述的表面等離激元波導，其特征在于，所述表面等離激元波導還包括：

位于所述金屬襯底表面和金屬墻表面的介質層。

3.根據權利要求1所述的表面等離激元波導，其特征在于，所述金屬墻之間的溝槽寬度大于所述表面等離激元等效波長的一半。

4.根據權利要求1所述的表面等離激元波導，其特征在于，所述金屬墻的高度大于等于50nm。

5.根據權利要求1所述的表面等離激元波導，其特征在于，所述金屬墻的厚度大于等于所述表面等離激元在該金屬墻中穿透深度的4倍。

6.根據權利要求5所述的表面等離激元波導，其特征在于，所述金屬墻的厚度大于等于100nm。

7.根據權利要求1至6任一項所述的表面等離激元波導，其特征在于：在工作波長下，所述金屬襯底和金屬墻材料的介電常數的實部小于零。

8.根據權利要求7所述的表面等離激元波導，其特征在于，所述金屬襯底材料和金屬墻材料相同或者不同。

9.根據權利要求7所述的表面等離激元波導，其特征在于：

所述金屬墻材料由一種材料構成；

或者，所述金屬墻材料由疊加的至少兩種材料層構成。

10.根據權利要求7所述的表面等離激元波導，其特征在于，所述金屬襯底和金屬墻的材料包括金、銀、鋁中至少1種金屬或者至少2種金屬的合金。

11.根據權利要求2所述的表面等離激元波導，其特征在于：

所述介質層材料的介電常數實部大于零，且所述介質層材料的介電常數實部的絕對值小于所述金屬襯底和金屬墻材料介電常數實部的絕對值。

12.根據權利要求11所述的表面等離激元波導，其特征在于，所述介質層材料包括空氣、水、二氧化硅和/或硅。

13.根據權利要求1至6任一項所述的表面等離激元波導，其特征在于：

位于所述溝槽兩側的金屬墻側壁在所述金屬襯底表面呈直線延伸；或者

位于所述溝槽兩側的金屬墻側壁在所述金屬襯底表面呈折線延伸；或者

位于所述溝槽兩側的金屬墻側壁在所述金屬襯底表面呈曲線延伸；或者

位于所述溝槽兩側的金屬墻側壁在所述金屬襯底表面呈直線、折線和曲線相結合形式延伸。