[發明專利]一種多晶硅制絨溶液及制絨方法

無效

• 申請號: 201410278260.5
• 申請日: 2014-06-20
• 公開（公告）號: CN104060325A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發明（設計）人: 史磊;錢金梁;陳斌;王步峰
• 申請（專利權）人: 潤峰電力有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B33/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多晶硅制絨溶液，其特征在于包含硝酸、氫氟酸、去離子水、乙醇胺以及PVP（聚乙烯吡咯烷酮），其溶液中各組分的質量百分比為：硝酸50%～65%；氫氟酸8%～18%；乙醇胺0.5%～2%；PVP（聚乙烯吡咯烷酮）0.02%～0.5%；去離子水16%～30%。

2.一種多晶硅制絨溶液制絨方法，其特征在于采用以下順序步驟制得：

A,按照以下質量百分比量取原材料，并按照先后順序加入制絨槽內,并攪拌均勻：去離子水16%～30%；氫氟酸8%～18%；硝酸50%～65%；乙醇胺乙醇胺0.5%～2%；PVP（聚乙烯吡咯烷酮）0.02%～0.5%；

B,將多晶硅片浸入制絨槽內的制絨溶液中反應，控制反應溫度為 5°C?10°C，反應時間為I.5min?3min；

C,將在制絨溶液腐蝕后的多晶硅片取出，使用去離子水進行清洗干凈;

D,在常溫下配制電導率為80-200ms的氫氧化鉀溶液，攪拌均勻后，將步驟C制得的多晶硅片放入進行清洗0.5-3min，以充分去除硅片表面的殘留物；

E,將多晶硅片再次使用去離子水進行清洗干凈；

F,配制體積比為鹽酸：氫氟酸：水=2：1：5.5的鹽酸、氫氟酸混合溶液，并把多晶硅片浸入鹽酸氫氟酸混合溶液中進行清洗2-3min；

G,再次使用去離子水把步驟F制得的多晶硅片進行清洗干凈，然后烘干。